ULVAC爱发科 真空泵 LR60

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ULVAC爱发科 真空泵 LR60

ULVAC爱发科 真空泵 LR60

ULVAC爱发科 真空泵 LR60ULVAC爱发科 真空泵 LR60特色低温区均质化（模型：LR）除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。由于采用氦气密封罐装发动机密封结构，其安全性极高。在1000毫秒内实施瞬时停止措施。优异的耐…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  LR60

ULVAC爱发科  真空泵  LR60

特色

  • 低温区均质化（模型：LR）
    除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。

  • 由于采用氦气密封罐
    装发动机密封结构，其安全性极高。

  • 在1000毫秒内实施瞬时停止措施
    。

  • 优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
    特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。

  • 通信功能
    ：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。

  • 用途

  • 沉积设备（溅射设备/沉积设备等）

  • 减少准备和提取室内的排气时间

  • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气，机械助力泵）

规格

模型LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大泵送速度50Hzm3/h
（L/min）		62 (1030)112 (1860)183 (3100)440 (7333)
60Hzm3/h
（L/min）		80 (1333)126 (2100)237 (3950)440 (7333)
达到压力5.0 Pa
最大入口压力（入口压力）大气压
最大排气压力（排放压力）1Pa ~ 大气压
进气口（CE规范）VG50（KF50）VG80（KF50）VG100
排气口KF40VG50
质量KG180245335415
电力 *1三相VAC （Hz）200 (50/60) , 220 (60)180~240 / 380~440（50/60）
现值常规时间A6.9（200伏时）11.2（200伏）18.9（200伏时）20.8（200伏时）
最大值A7.3（200伏时）11.8（200伏时）20.6（200伏时）48.5（200伏时）
冷却水 暂时压力MPa0.1~0.30.2~0.5
冷却水进出口压力差MPa>0.1>0.2
冷却水流量L / min>5.0>4.0
净化气体初级压力MPa0.1~0.5
次级压力MPa0.05~0.1
N2 清洗行动轴心国SLM5
加斯·巴拉SLM0~45没有0~45


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