ULVAC爱发科 真空泵 LR600

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ULVAC爱发科 真空泵 LR600

ULVAC爱发科 真空泵 LR600

ULVAC爱发科 真空泵 LR600ULVAC爱发科 真空泵 LR600特色低温区均质化（模型：LR）除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。由于采用氦气密封罐装发动机密封结构，其安全性极高。在1000毫秒内实施瞬时停止措施。优异的…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  LR600

ULVAC爱发科  真空泵  LR600

特色

  • 低温区均质化（模型：LR）
    除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。

  • 由于采用氦气密封罐
    装发动机密封结构，其安全性极高。

  • 在1000毫秒内实施瞬时停止措施
    。

  • 优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
    特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。

  • 通信功能
    ：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。

  • 用途

  • 沉积设备（溅射设备/沉积设备等）

  • 减少准备和提取室内的排气时间

  • 作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气，机械助力泵）

规格

模型LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T（TT）LR3601-RLR3601-TR（TTR）
所用泵DRPLR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
MPBPRC-003APRC-006APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C（-T）PRC-036DPRC-036D（D-T）
最大泵送速度50Hzm3/h
（L/min）		359
（5,980）		653
（10,900）		1,012
（16,900）		1,701
（28,350）		3,200 (53,333)
60Hzm3/h
（L/min）		365
（6,080）		701
（11,700）		1,051米
（17,500）		1,784
（29,700）		3,200 (53,333)
达到压力0.67 Pa
最大入口压力（入口压力）大气压
最大排气压力（排放压力）1Pa ~ 大气压
进气口（CE规范）VG80（KF80）VG100
（KF100）		VG150
（KF100）		VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *2〇 *2〇 *2〇 *2×T：×
TT：×		×TR：×
TTR：〇
质量KG275370420545660720660720
电力 *3三相VAC （Hz）200 (50/60), 220 (60)180~240 / 380~440（50/60）
现值常规时间A7.0
（200伏时）		12.3
（200伏）		13.7
（200伏）		21.4
（200伏时）		31.0（200伏时）
20.5伏（400伏时）		35.4（200伏时）
20.5伏（400伏时）
最大值A9.6
（200伏时）		19.0
（200伏时）		24.2
（200伏）		39.8
（200伏时）		58.4（200伏时）
40.5伏（400伏时）		82.0（200伏）40.5
（400伏）
冷却水 暂时压力MPa0.1~0.30.2~0.5
冷却水进出口压力差MPa>0.10.1~0.30.2~0.5
冷却水流量L / min>5.0>4.0
净化气体初级压力MPa0.1~0.5
次级压力MPa0.05~0.1
N2 清洗行动轴心国SLM5
加斯·巴拉SLM0~45无 *40~45无 *40~45

*2 LR300、LR600、LR1200和LR1800的MBP可选择是否进行表面处理。
*3 订购时请注明。
*4 根据应用，也可以估算可使用气体棒的规格。


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