ULVAC爱发科真空泵 VS300A-W

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ULVAC爱发科真空泵 VS300A-WULVAC爱发科真空泵 VS300A-W特色其同级中占地最小□紧凑设计，排径为874404毫米。机械助力泵（MBP）可以直接安装。MBP安装套件使得无需安装架即可安装MBP。油雾分离器内置油回收机制也内置其中。结构中油不易泄漏到外部。油封和密封轴承的…

ULVAC爱发科真空泵 VS300A-W

特色

其同级中占地
最小□紧凑设计，排径为874×404毫米。
机械助力泵（MBP）可以直接安装。
MBP安装套件使得无需安装架即可安装MBP。
油雾分离器内置
油回收机制也内置其中。
结构中油不易泄漏到外部。油封和密封轴承的两个阶段防止油泄漏到外部。
配备
原厂IE3高效多电压电机，单个电机可承受广泛的电压范围。

用途
- 光学胶片沉积设备
- 反射沉积设备
- 装饰沉积设备
- 胶片绕组和沉积设备
- 直列溅射设备
- 烘烤烤箱/热处理炉
- 冻干设备
- 泄漏测试设备
- 太空舱
规格

模型				VS300A-W
设计排气速度		50Hz	m³/ 小时（L/min）	250 (4,166)
		60Hz		300 (5,000)
达到压力^*1	GP关闭		爸	≦15
	GP公开赛			≦200
功率消耗（达到压力时）		50Hz	千瓦	2.8
		60Hz		3.1
发动机	模型			全封闭外部风扇三相感应电机
	容量		千瓦（波兰）	7.5（4）
	电压	50Hz	V	200~240 / 380~415
		60Hz		200~240 / 380~460
噪声值^*2（达到压力时）		50Hz	分贝	70
		60Hz		74
用油				SMR-200
所需燃料			L	10~15
冷却方法				水冷
冷却水	主侧压力		MPaG	≦0.3
	入口和出口的压力差			≧0.1
	冷却水体积		L/min	≧3.0
	冷却水温度		°C	5~30
	冷却水 Δt			≦25
进气法兰				DN　63　ISO-F
排气法兰				G2
质量			KG	270
尺寸 W×D×H			嗯	404×871×585
海外安全标准				CE、cTUVus

注：本文档采用国际单位制（SI）系统。

*1 在峰值压力（GP闭合）时发生缓慢泄漏。当慢漏阀关闭时≦电压变为8Pa。
*2 这是基于ISO2151测量和计算的平均声压水平。

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ULVAC爱发科 真空泵 VS300A-W

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