ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U4HULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U4HULVAC冷冻技术已应用于电子、光学、太阳能、核聚变和航天开发等多个领域,并积累了丰富的业绩。特色最佳的排气特性由四型低温泵提供。高速排气有助于提升排气效率和生产力。它特别适用于半导体制造设备和小型设…
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U4H
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U4H
ULVAC冷冻技术已应用于电子、光学、太阳能、核聚变和航天开发等多个领域,并积累了丰富的业绩。
最佳的排气特性由四型低温泵提供。
高速排气有助于提升排气效率和生产力。
它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
单台压缩机最多可操作四台泵。
它可以根据你所使用的应用设计和制造。
| 排气速度(20°C) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢气 | 500 | ||
| 氩气 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 达到压力 | 爸 | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排水容量 | 氩气 | Pa·L | 1.0×107 |
| 氢气 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | 最小(50/60Hz) | 45/50 | |
| 质量 | 公斤 | 14.5 | |
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