ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U22WBULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U22WBULVAC冷冻技术已应用于电子、光学、太阳能、核聚变和航天开发等多个领域,并积累了丰富的业绩。规格排气速度(20C)氮L/s13,000氢气16,500氩气11,000水39,000达到压力帕(托尔)10-7(10-9)最大流量氩气Pa・…
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U22WB
ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-U22WB
ULVAC冷冻技术已应用于电子、光学、太阳能、核聚变和航天开发等多个领域,并积累了丰富的业绩。
| 排气速度(20°C) | 氮 | L/s | 13,000 |
| 氢气 | 16,500 | ||
| 氩气 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 达到压力 | 帕(托尔) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 3.5×103(26) |
| 排水容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氢气 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷却投放时间 (电源循环) | min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机单元 | C30PMVRT×1 | ||
| 质量 | 公斤 | 125.0 | |
*维护间隔:16,000小时
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