ULVAC爱发科 真空泵 PR1A

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ULVAC爱发科 真空泵 PR1A

ULVAC爱发科 真空泵 PR1A

ULVAC爱发科 真空泵 PR1AULVAC爱发科 真空泵 PR1A精工智冷，洁净致真空：ULVAC 爱发科 PR1A 低温泵，引领高端工业真空新境界在半导体、科研实验、航空航天等尖端领域，洁净、高效、稳定的超高真空环境是一切精密工艺与前沿探索的基石。作为全球真空技术标杆，日本 ULVA…

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Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵 PR1A

ULVAC爱发科  真空泵 PR1A

精工智冷，洁净致真空：ULVAC 爱发科 PR1A 低温泵，引领高端工业真空新境界

在半导体、科研实验、航空航天等尖端领域，洁净、高效、稳定的超高真空环境是一切精密工艺与前沿探索的基石。作为全球真空技术标杆，日本 ULVAC 爱发科匠心打造的PR1A 低温泵，以其卓越的性能、可靠的品质与智能化设计，成为构建理想真空系统的核心利器，为高端制造与科学研究保驾护航。

品牌底蕴：百年匠心，真空领域的全球领导者

PR1A 源自日本 ULVAC 爱发科—— 拥有逾百年历史的真空技术先驱，以深厚的技术积淀、严苛的品控标准与持续的创新能力，享誉全球工业真空市场。其产品始终秉持 “极致真空、洁净无忧、稳定耐用” 的核心理念，PR1A 低温泵正是爱发科尖端技术与精湛工艺的集大成者，专为高标准真空应用场景量身定制。

核心定位：高效再生，低温真空的 “智能助手”

PR1A 并非传统意义上的抽气低温泵本体，而是适配爱发科低温泵系统的专用再生辅助装置（干式 N₂气体吹扫单元）。它精准切入低温泵运行的关键环节 —— 再生阶段，通过高效的干式氮气吹扫，彻底解决传统再生过程中加热慢、废液残留、周期长等痛点，大幅提升低温泵系统的整体运行效率与稳定性，是现代高效真空产线不可或缺的 “智能搭档”。


产品优势：四大核心亮点，铸就卓越性能

1. 高效再生，大幅提速降本

PR1A 搭载专用干式氮气吹扫技术，在低温泵再生时，通过强劲的干燥氮气气流，快速吹扫冷头与泵腔内部，高效带走残留水汽与杂质。相较于传统再生方式，显著缩短加热时间与粗抽时间，让低温泵快速恢复最佳抽气状态，有效减少设备待机时长，提升产线连续作业效率，降低单位时间运营成本。

2. 洁净无污，守护超高真空纯度

全程采用干式、无油化设计，配合高纯氮气介质，再生过程无油污、无废液、无二次污染。完美契合半导体光刻、薄膜沉积、科研实验等对真空洁净度近乎苛刻的要求，杜绝油蒸气、颗粒物对工艺环境与样品的污染，保障超高真空环境的极致纯净，助力产品良率与实验精度的双重提升。

3. 智能协同，操作便捷省心

PR1A 可与爱发科低温泵系统无缝适配、智能联动，支持自动启停、再生流程联动控制。设备配备简洁清晰的操作界面，可连接 MBS-C 型低温热电偶温度计，数字实时显示泵体温度，运行状态一目了然。无需复杂人工干预，降低操作门槛，减少人为失误，实现低温泵系统的自动化、智能化运维。

4. 精工品质，稳定可靠耐用

秉承 ULVAC 爱发科一贯的精工制造标准，PR1A 采用高品质组件与精密加工工艺，结构紧凑坚固。整机通过严苛的低温、老化、可靠性测试，适应长时间连续运转的工业场景，抗干扰能力强、故障率低。同时，模块化设计让日常维护与部件更换简便快捷，有效延长设备整体使用寿命，降低全生命周期维护成本。

核心规格参数（PR1A）

  • 电源：AC 200V×3Φ×50Hz / 220V×3Φ×60Hz

  • 功率：6.5kW（50Hz）/ 8.0kW（60Hz）

  • 冷却方式：水冷，水量 5.5L/min（20℃）

  • 设备质量：约 13kg

  • 外形尺寸：紧凑轻量化设计，适配多种安装场景

应用领域：覆盖高端场景，赋能多元产业

凭借高效、洁净、智能、稳定的核心优势，ULVAC 爱发科 PR1A 低温泵广泛适配于各类需要超高真空、高效再生的场景：

  • 半导体制造：光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等前道工艺，保障芯片制造的洁净真空环境；

  • 科研实验：物理实验室、粒子加速器、空间环境模拟、超导研究等前沿科研装置；

  • 航空航天：卫星部件测试、航天器真空热试验、航空材料研发；

  • 电子工业：光学镀膜、电子显微镜、精密电子器件封装；

  • 生物医药：医疗设备、超导磁共振（MRI）、生物样本低温真空处理。



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