ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-T6

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ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-T6

ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-T6

ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-T6ULVAC爱发科 真空泵 CRYO-T6洁净除水，高效真空：ULVAC 爱发科 CRYO-T6 超级冷阱，精密工艺的真空守护者在半导体、光学镀膜、科研实验等对真空环境要求严苛的领域，高效去除水汽、杜绝油污染、快速获得高真空是保障产品良率与实验精度的核心…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵 CRYO-T6

ULVAC爱发科  真空泵 CRYO-T6

洁净除水，高效真空：ULVAC 爱发科 CRYO-T6 超级冷阱，精密工艺的真空守护者

在半导体、光学镀膜、科研实验等对真空环境要求严苛的领域，高效去除水汽、杜绝油污染、快速获得高真空是保障产品良率与实验精度的核心前提。作为全球真空技术领导者 —— 日本 ULVAC 爱发科旗下的明星产品，CRYO-T6 超级冷阱（Super Trap） 凭借专业的水气抽除能力、无油洁净设计与稳定可靠的性能，成为构建理想高真空系统的关键部件，为各类精密真空工艺保驾护航。

品牌实力：爱发科，百年真空技术的全球标杆

ULVAC 爱发科（日本真空技术株式会社）拥有逾百年的真空技术研发与制造历史，是全球真空设备领域的权威品牌。从基础真空元件到高端系统集成，爱发科始终以极致洁净、高效稳定、创新科技为核心，产品广泛应用于半导体、电子、光学、航空航天、科研等尖端产业，以严苛的品控与卓越的品质，成为全球用户信赖的真空解决方案供应商。CRYO-T6 正是爱发科针对水气抽除专项需求，匠心打造的专业级低温冷阱产品。

产品定位：专业水气抽除，高真空系统的 “洁净卫士”

CRYO-T6 属于爱发科CRYO-T 系列超级冷阱，是一款采用单级 G-M（吉福德 - 麦克马洪）制冷机的专用低温抽气设备。与传统低温泵不同，其核心定位是高效抽除真空系统内的水蒸气、油蒸气等易凝气体，通过极低温冷凝作用，快速捕集系统中的水汽杂质，从根源上避免水汽对真空度、工艺质量的干扰，同时完美适配各类高真空主泵，协同构建无油、洁净、高稳定的真空环境，是小型真空系统、精密设备的理想搭档。

核心技术优势：四大亮点，铸就专业性能

1. 单级高效制冷，水气抽除专精

CRYO-T6 搭载单级 G-M 制冷机，无需液氮辅助，即可快速将冷板降至超低温。凭借对水蒸气的超高抽速（达 1100L/s），能瞬间冷凝、捕集真空腔体内的水汽分子，抽除效率远超普通冷阱与真空泵。针对镀膜、溅射、电子束蒸发等易产生水汽的工艺，可快速降低系统水汽分压，大幅缩短抽气时间，提升设备运行效率。

2. 无油洁净设计，杜绝二次污染

全程采用干式无油结构，内部无任何润滑油、工作液，运行过程零油蒸气返流、零污染物排放。完美契合半导体芯片制造、光学镜片镀膜、科研超高真空实验等对洁净度有极致要求的场景，彻底避免油污染导致的产品缺陷、实验误差，守护真空环境的纯净度。

3. 紧凑轻量化，安装灵活适配

机身采用紧凑化、轻量化设计，结构精巧、体积小巧，重量轻、占用空间小。支持多种安装方向（朝上、朝下、水平），可灵活适配小型真空腔体、桌面式研发设备、便携式真空装置等多种场景，无需复杂支架，安装便捷、调试简单，大幅提升设备设计与布局的自由度。

4. 稳定可靠耐用，低耗易维护

秉承爱发科精工制造标准，核心部件采用高品质制冷组件与精密加工工艺，抗干扰能力强、运行稳定，可满足长时间连续工作需求。设备无易损高速部件，故障率低；同时采用模块化设计，日常维护简便，冷板清洁、部件更换操作快捷，有效降低全生命周期维护成本，长期使用经济性出众。

核心规格参数

  • 产品类型：单级 G-M 制冷式超级冷阱（水气专用）

  • 抽速性能：对水蒸气抽速 1100L/s

  • 制冷方式：单级 G-M 制冷，无需液氮

  • 适用范围：高真空领域（1×10⁻²Pa~1×10⁻⁶Pa）

  • 安装适配：适配 4 英寸法兰，兼容多种真空腔体接口

  • 运行特点：低振动、低噪音、运行稳定

  • 应用定位：小型真空系统、精密设备水气抽除

多元应用场景，覆盖精密真空需求

凭借专业除水、洁净无油、小巧灵活的核心优势，ULVAC 爱发科 CRYO-T6 广泛适配于各类需要高效去除水汽、构建洁净高真空的场景：

  • 半导体与电子：小型溅射设备、离子注入、半导体研发实验台、电子元器件真空封装；

  • 光学镀膜：光学镜片、镜头、滤光片的小型真空镀膜机，快速除水提升膜层附着力与均匀度；

  • 科研实验：实验室小型超高真空腔体、表面分析设备、材料测试装置、物理实验平台；

  • 精密仪器：电子显微镜、质谱仪、检漏设备，保障仪器内部真空洁净与测量精度；

  • 工业应用：小型真空干燥、真空脱气、OLED 小试研发设备、特种材料真空处理。



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