ULVAC爱发科 真空泵 UTM400A-MS

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ULVAC爱发科 真空泵 UTM400A-MS

ULVAC爱发科 真空泵 UTM400A-MS

ULVAC爱发科 真空泵 UTM400A-MSULVAC爱发科 真空泵 UTM400A-MS这是一种带有独立控制器的涡轮分子泵，使用磁性轴承。 我们有一系列排气速度为300~4000升/秒的型号。 控制器部分可以监控运行状态，并支持各种通信标准。特色泵体和控制器部分是分开的，控制器部分可以监控…

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Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵 UTM400A-MS

ULVAC爱发科  真空泵 UTM400A-MS

这是一种带有独立控制器的涡轮分子泵，使用磁性轴承。 我们有一系列排气速度为300~4000升/秒的型号。 控制器部分可以监控运行状态，并支持各种通信标准。

特色

  • 泵体和控制器部分是分开
    的，控制器部分可以监控运行状态并支持各种通信标准。

  • 自由安装方向 无限
    安装方向允许设备设计更大自由度。

  • 排气速度：300L/s ~ 4000L/s 组别

  • 可变
    速度为25~100%。泵速可变，便于调节腔室压力。

  • 高耐久性与安全性 它已通过多项安全确认测试，如
    大气侵入测试和着陆测试。

用途

  • 各类设备的
    真空主排气系统 - 半导体制造设备
    - 沉积设备
    - 溅射设备
    - 分析仪设备、实验室设备等
    - 研发设备

  • 光过程的主排气系统，无副作用产物。

  • 其他高真空排气应用

规格

表1
模型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
进气口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
排气口KF25KF40
冷却方法水冷空气冷却水冷空气冷却水冷空气冷却水冷空气冷却
达到压力 *1爸10-710-8
排气速度 *2N2L/s3204208001080
阿尔L/sー
他L/s340360800930
H2L/s320340700790
压缩比N21×109
他8×104
H21×1044×103
最大入口压力 *3爸2001.32001.34001.34001.3
最大排气口压力 *3爸40040400406654066540
转速转速4500035000
启动时间5分钟内
安装方向全能安装
表面处理镍镀层
冷却水流L/min1~3ー1~3ー1~3ー1~3ー
水压MPaG02~0.5ー02~0.5ー02~0.5ー02~0.5ー
噪音dB（A）60
质量KG143332
推荐的辅助泵超过200升/分钟超过500升/分钟
控制器创作分离
输入电源单相交流电200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
最大功率需求kVA0.551.0
变速函数操作速度可调整为泵指定转速的25% ~ 100%（设置为0.1%增量）
外部控制接触输入/输出
RS-232C / RS-485
质量KG8

*1：表示顺序。
*2：无保护网的价值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的要求不能同时满足。



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