ULVAC爱发科 真空泵 UTM70B

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ULVAC爱发科 真空泵 UTM70B

ULVAC爱发科 真空泵 UTM70B

ULVAC爱发科 真空泵 UTM70BULVAC爱发科 真空泵 UTM70B这是一种采用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。控制器与泵的集成节省了空间。优异的高背压特性也使辅助泵能够减小体积。特色安装方向：安装方向没有限制，这扩大了器件设计的自由度。带有车载控制器的控制器安装在…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵 UTM70B

ULVAC爱发科  真空泵 UTM70B

这是一种采用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。
控制器与泵的集成节省了空间。
优异的高背压特性也使辅助泵能够减小体积。

特色

  • 安装方向：
    安装方向没有限制，这扩大了器件设计的自由度。

  • 带有
    车载控制器的控制器安装在涡轮车身上，这对节省线路和排气系统进行小型化非常有效。

  • 高压缩比和高出流压力
    压缩比都较高，且可在高背压下运行，从而减少辅助泵的体积。

  • 有三种类型的法兰
    ：有三种进气法兰：VG、ICF和ISO-K。

  • 它旨在减少碳氢化合物回流，不仅在清洁真空
    运行时，也在泵停止运行时使用。

用途

  • 分析设备、研发设备、实验室设备等的主排气系统。

  • 主排气系统，如沉积设备和溅射设备

  • 轻质气体如氢和氦的主排气系统

规格

模型UTM70BUTM300B
泵冷却方法自然风冷强制空气冷却自然风冷强制空气冷却
法兰口径进气口 *1VG65，ICF114，ISO063-KVG100，ICF152，ISO100-K
排气口KF16KF16
排气速度
（无保护网）		N270升/秒280升/秒
他60升/秒270升/秒
H249升/秒220升/秒
达到压力
*2		烘焙后- *310-8爸- *310-8爸
烘焙之前10-6爸10-6爸10-6爸
最大压缩比N2 ： >1×109， 他 ： 4×107， H2 ： 4×105N2 ： >1×109，他：7×106, H2 ： 1×105
最大入口压力
*4， *5， *6		N20.43Pa1.1Pa0.06Pa0.7Pa
最大排气压力
*4， *5， *7		N2300Pa900Pa100Pa1000Pa
连续运行
的最大流量 *8		没有气体
排气		N215sccm *940SCCM *910sccm *10100sccm *10
没有气体
排气		阿尔-10SCCM *9-30sccm *10
气体
净化可用		-15sccm *9-40sccm *10
推荐辅助泵
（10SCCM吸力）*11		超过60升/分钟超过120升/分钟
质量VG：3.3kg，ISF：3.0kg，ISO：5.0kg6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤
转速87000转/分钟60000转
启动时间（最高80%）
（24伏直流背压5Pa或更低时）		1.7分3.5分
表面处理 *12没有
骑行方向全能
噪音 *1348dB（A）或更低50dB（A）或更低
电源规格输入电源DC24V ±5%，120WDC24V ±5%，180W
接触输入/输出远程（D-sub 15针公头）4个数字输入和输出，1个模拟输出
串行通信RS-485（D-sub 15针公头，与REMOTE共用）
LED指示灯电源，正常，警报
交换机开始/停止，重置
变速转速可调整为泵默认数值的25%~100%（设置为0.1%增量）
异常检测检测警报和警告
保护行动警报，警告显示
标准配件说明书（CD-R）、防护网（仅限VG、ICF。ISO法兰内置于垫圈内）、垫圈（用于进气）、
防尘盖（用于进气、排气、连接器）各1个
自适应标准CE、TUVus
*1订购时请选择进气法兰。
*2使用两级辅助泵时
*3只有在使用ICF法兰强制空气冷却时才能进行烘烤。
*4当环境温度为25°C时，这是该值。 容差会随着环境温度的变化而变化。
*5最大进气压力和排气压力不能同时达到。
*6这是可以连续排出的最大入口压力。
*7这是当排气口排气流量为0 sccm时，排气口可连续操作的最大压力。
*8当环境温度为5~25°C时，该值为该值。 用气体净化剂配合N2气体25 sccm。
*9这是使用辅助泵时的60升/分钟。
*10这是使用辅助泵时的120升/分钟。
*11如果气体体积较大，选择排气口压力低于最大排气口压力的辅助泵。
*12不要排出反应性、腐蚀性或含氮气体。 如需更多信息，请联系我们。
*13ISO法兰类型。 根据我们的测量方法。


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