ULVAC爱发科 真空泵 ULK-04A

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ULVAC爱发科  真空泵 ULK-04A

ULVAC爱发科 真空泵 ULK-04A

ULVAC爱发科 真空泵 ULK-04AULVAC爱发科 真空泵 ULK-04AULVAC的ULK型油扩散泵是一种高真空排气泵,设计体积小巧,临界背压较大。它被广泛应用于从科研到生产线的各种应用。特色它是一款强力的高真空泵,没有机械滑动部件。选择两种油和加热器,可以获得理想的泵送速度和…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵 ULK-04A

ULVAC爱发科  真空泵 ULK-04A

ULVAC的ULK型油扩散泵是一种高真空排气泵,设计体积小巧,临界背压较大。
它被广泛应用于从科研到生产线的各种应用。

特色

  • 它是一款强力的高真空泵,没有机械滑动部件。

  • 选择两种油和加热器,可以获得理想的泵送速度和压力。

  • 它配备了防止液压油流向辅助泵侧的机构。

用途

・沉积设备
・高真空实验设备

规格

模型ULK-04AULK-06AULK-10AULK-14A
排气速度550升/秒500升/秒1200升/秒1100升/秒3400升/秒3000升/秒5400升/秒4900升/秒
达到压力 *1<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6<2.6×10-5<2.6×10-6
临界背压40 Pa60帕40 Pa60帕35 Pa40 Pa30帕30帕
工作开始时间9分钟8.5分钟16.5分钟15分钟20分钟20分钟25分钟25分钟
液压油 *2ULVOIL
D-11,SX
ULVOIL
D-31,F-5
ULVOIL
D-11,SX
ULVOIL
D-31,F-5
ULVOIL
D-11,SX
ULVOIL
D-31,F-5
ULVOIL
D-11,SX
ULVOIL
D-31,F-5
油量0.15升0.35升0.8升1.5升
水温19°C ~ 25°C
冷却水处理
(规模×系统数量)
RC 1/4英寸RC 1/4英寸Rc 3/8”Rc 3/8”
冷却水体积1升/分钟1升/分钟1.5升/分钟2.5 升/分钟3升/分钟2.5 升/分钟3.5升/分钟
电压规格200V / 1Φ
功率需求0.55千瓦0.73千瓦0.9千瓦1.2千瓦2千瓦2.4千瓦2.25千瓦2.4千瓦
加热器类型热板热板热板热板
推荐辅助泵 *3VD151 / VD201 /
PVD-180 / PVD-360
VD30C / VD40C /
VD60C
VD90C / VS1501 /
PKS-016 / PKS-030
VS1501 / VS2401 /
PKS-030
外径尺寸 *4A175毫米250毫米340毫米340毫米
B150毫米180毫米240毫米240毫米
H346毫米454毫米650毫米670毫米
进气口VG100VG150VG250VG350
排气口VG25VG40VG80VG80
质量7.5公斤13.5公斤47公斤56公斤
油位计没有没有视窗视窗
恒温器
选项
是的是的是的是的
恒温
器设定温度
250°C250°C180°C180°C

*1 当冷却水使用电离真空计达到20°C时,极限压力。
*2 D-11和SX是基于碳氢化合物的通用油,D-31和F-5是具有高耐热性的硅基扩散泵油。
*3 辅助泵的选择是根据扩散泵的最大流量设计的,但一般来说,考虑粗糙时间后,适合使用比此处展示的更大的机械助力泵和油旋转真空泵。
*4 其他尺寸请查看我们网站上发布的CAD数据(2D图纸、3D图纸)。


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