ULVAC爱发科 真空計 SH200-A

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ULVAC爱发科 真空計 SH200-A

ULVAC爱发科 真空計 SH200-A

ULVAC爱发科 真空計 SH200-AULVAC爱发科 真空計 SH200-A这是新型换能器“G-TRAN多离子计”，可连接不同测量范围的测量设备。 该产品是一种B-A型电离真空计，能够测量超高真空。 它延续了传统的宽范围压力测量和低运行成本概念，但进行了更易用的改进特色可以连接不同的…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空計 SH200-A

ULVAC爱发科  真空計 SH200-A

这是新型换能器“G-TRAN多离子计”，可连接不同测量范围的测量设备。 该产品是一种B-A型电离真空计，能够测量超高真空。 它延续了传统的宽范围压力测量和低运行成本概念，但进行了更易用的改进

特色

  • 可以连接不同的测量范围：多离子计允许根据应用选择测量仪器

  • 紧凑型：明显小于传统产品（控制器体积减少56%），是全球最小的

  • 提升可用性：连接电脑或智能手机可以检查设置点数、状态检查等

  • 产品线增强：除了模拟输出规范（SH200-A）和串行通信规范（SH200-R）外，还将新增EtherCAT规范（SH200-E）。

  • 耗材寿命通知功能：耗材功率监测提供耗材寿命提前通知

  • 压力测量范围广泛：大气压到高真空范围（1×10+5~5×10-8Pa）（连接可选设备 SWU10-R 时）

  • 准确的气压测量：连接可选单元SAU时，确认气压开启

用途

  • 用于包括半导体和电子元件在内的各种制造设备高真空范围内的过程控制

  • 用于检测各种具有多个工艺室的制造设备（如直列式和单叶式）高真空范围内的距离压力。

  • 用于高真空和超高真空设备的压力测量

规格

模型SH200-ASH200-RSH200-E（即将推出）
规格标准规格串行通信规范EtherCAT 规范
自适应多离子仪表传感器M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
可连接传感器多离子表传感器：1个
Pirani表 SWU10-R：1个（可选）
气压传感器 SAU：1个（选配）
重复性（N2）SH200 独立模式：±2%
采样时间60毫秒5移动平均线
测量输出输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/1 位数
压力换算公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新时间60毫秒
控制输入信号FIL开关、FIL 1/2、脱气开关、
开集电极输入、负逻辑
* FIL开关信号根据模式不同使用方式不同		--
控制输出信号传感器误差，设定点1/2/3，发射种类，
耗材功率监测
额定值：24V最大电压，50mA最大电流，饱和电压 1V		--
串行通信规范-RS232C/RS-485以太猫
LED指示灯电源/错误：电源，错误指示灯（闪烁状态根据不同模式变化）
SET1：设定点1 LED
SET2：设定点2 LED
SET3：设定点3		--
发射电流1mA（1×10）-3Pa或更小），10μA（1×10）-3PA或更高级别）
德加电子冲击分离（电子轰炸）1mA，330V
传感器电压2×10+5Pa（绝对压力）* 法兰、夹具等的耐压性需要单独考虑
传感器内部体积17厘米3（M-44），19厘米3（M-45），17厘米3（M-46）
工作温度范围10~50°C
工作湿度范围15~80%（但无冷凝）
储存温度-20~65°C（未通电时无冷凝）
IP保护级别IP30
供电电压DC20~28V（纹波，噪声小于1%），小于8W
输入/输出连接器D-sub 15针（M2.6螺纹）
质量控制器：约280克测量装置（M-44，M-45）：80克，（M-46）：300克
尺寸 W×D×H69毫米×63毫米×90毫米（控制器部分）
贴合规格CE

奥布孙


多离子规范传感器M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
材料：纤维1,2 -红外针/Y2O3
其他涂层：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar玻璃、Kovar/镍镀层
皮拉尼规SWU10-R *传统电源也兼容
Pirani仪表传感器SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端）
材料：线材-点焊、其他-BS/镍、电镀、镍、焊料
气压传感器SAU（NW16）材料：SUS316L
单元电缆GUC-200P（针对软件单位）：0.5米、1米、2米
GUC-200A（用于SAU）：0.5米、1米、2米
显示单元1CH：ISG1（配备24V直流电源）
显示单元线缆SH200~显示单元
2米、5米、10米、15米、20米、25米、30米、35米、40米
连接器输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝））
其他考试成绩、综合校准考试成绩、JCSS校准证书





各模式的规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有三种使用方式：多零轨独立模式、带Pirani仪表的组合模式，以及带有Pirani仪表和大气压力传感器的三联机模式。

模式SH200-A/SH200-R/SH200-E
独立模式		SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R
组合模式		SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R+SAU
组合模式
压力范围测量5.0×10-8~1.0×10+1爸5.0×10-8~1.0×10+5爸5.0×10-8~1.0×10+5爸
测量精度5.0×10-8~1.0×10+1宾夕法尼亚州：
±15%		5.0×10-8~4.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1~3.0×10+0Pa：±10~±15%
3.0×10+0~1.0×10+4爸：±10%
1.0×10+4~1.0×10+5PA：±20%		5.0×10-8~4.0×10-1Pa：±15%
4.0×10-1~3.0×10+0Pa：±10~±15%
3.0×10+0~1.0×10+4Pa：±10%
1.0×10+4~3.0×10+5Pa：±3%F.S.（3.0×10+3帕氏，标准温度25°C）


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