ULVAC爱发科 真空計 SC1ULVAC爱发科 真空計 SC1“G-TRAN型号”是一种真空计,其理念包括(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线,以集中和微型化各种设备的过程控制。它由一个传感器单元和一个显示单元的基本单元组成,可以根据应用组合使用。特色测量元件与…
ULVAC爱发科 真空計 SC1
ULVAC爱发科 真空計 SC1
“G-TRAN型号”是一种真空计,其理念包括(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线,以集中和微型化各种设备的过程控制。
它由一个传感器单元和一个显示单元的基本单元组成,可以根据应用组合使用。
测量元件与测量电路的集成结构
模拟和设定点输出
独立输出、伪对数输出和设定点输出(显示单元)
提供DIN标准尺寸48 x 96毫米(显示单元)
用于包括半导体和电子元件在内的各种制造设备的过程控制
用于各种工业设备的过程控制,如炉子
用于多种具有多个工艺室的制造设备的过程控制,如直线型和片送类型。
规格
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自适应测量 | C-21、23、24、25 | ||
| 压力范围测量 | 1.0×10-5 ~ 1.0 Pa | ||
| 测量精度 | +100%,-50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1) | ||
| 工作温度范围 | 10 ~ 40°C | ||
| 测量输出 | 非线性输出:DC0V ~ 10V(高压关闭时为10V) | ||
| SETPOINT1/2可调输出 | 非线性输出:DC0~10V | ||
| 控制输入信号 | 高压开关 | ||
| 输出信号 | 开集电极,负逻辑 | ||
| 控制输出信号 | 出院确认/设定点1/2 | ||
| LED指示灯 | 功率、高压、压力保护、设定点1/2 | ||
| 电源 | DC24V±2V、150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub-15 销(M2.6 螺丝) | ||
| 体重 | 430克(不含测量仪器) | ||
| 配件 | 1 种类输入/输出连接器 | ||
| 1本快速手册 |
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