ULVAC爱发科 真空計 SC1

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ULVAC爱发科  真空計 SC1

ULVAC爱发科 真空計 SC1

ULVAC爱发科 真空計 SC1ULVAC爱发科 真空計 SC1“G-TRAN型号”是一种真空计,其理念包括(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线,以集中和微型化各种设备的过程控制。它由一个传感器单元和一个显示单元的基本单元组成,可以根据应用组合使用。特色测量元件与…

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ULVAC爱发科  真空計 SC1

ULVAC爱发科  真空計 SC1

“G-TRAN型号”是一种真空计,其理念包括(1)降低设备成本,(2)节省空间,(3)节省布线,以集中和微型化各种设备的过程控制。
它由一个传感器单元和一个显示单元的基本单元组成,可以根据应用组合使用。

特色

  • 测量元件与测量电路的集成结构

  • 模拟和设定点输出

  • 独立输出、伪对数输出和设定点输出(显示单元)

  • 提供DIN标准尺寸48 x 96毫米(显示单元)

用途

  • 用于包括半导体和电子元件在内的各种制造设备的过程控制

  • 用于各种工业设备的过程控制,如炉子

  • 用于多种具有多个工艺室的制造设备的过程控制,如直线型和片送类型。


规格

类型传感器单元
模型SC1
自适应测量C-21、23、24、25
压力范围测量1.0×10-5 ~ 1.0 Pa
测量精度+100%,-50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1
工作温度范围10 ~ 40°C
测量输出非线性输出:DC0V ~ 10V(高压关闭时为10V)
SETPOINT1/2可调输出非线性输出:DC0~10V
控制输入信号高压开关
输出信号开集电极,负逻辑
控制输出信号出院确认/设定点1/2
LED指示灯功率、高压、压力保护、设定点1/2
电源DC24V±2V、150mA
输入/输出连接器D-sub-15 销(M2.6 螺丝)
体重430克(不含测量仪器)
配件1 种类输入/输出连接器
1本快速手册



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