ULVAC爱发科 真空計 M-45（NW25）

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ULVAC爱发科 真空計 M-45（NW25）

ULVAC爱发科 真空計 M-45（NW25）

ULVAC爱发科 真空計 M-45（NW25）ULVAC爱发科 真空計 M-45（NW25）高真空精准测控标杆：ULVAC 爱发科 SH200 多离子计 M-45（NW25）测量装置在半导体、光伏、面板显示等高精尖产业，高真空至超高真空的稳定监测是保障工艺精度、产品良率与设备安全的核心命脉。作为真空技…

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ULVAC爱发科  真空計 M-45（NW25）

ULVAC爱发科  真空計 M-45（NW25）

高真空精准测控标杆：ULVAC 爱发科 SH200 多离子计 M-45（NW25）测量装置

在半导体、光伏、面板显示等高精尖产业，高真空至超高真空的稳定监测是保障工艺精度、产品良率与设备安全的核心命脉。作为真空技术巨头 ULVAC 爱发科 G-TRAN 系列旗舰产品，SH200 多离子计搭配 M-45（NW25）传感器头，以 B-A 型（巴耶 - 阿尔珀特）电离测量技术为核心，实现从高真空到超高真空的极致精准测量，是高端真空设备的理想 “神经末梢”。

一、品牌与技术：爱发科匠心，电离真空测量巅峰

ULVAC 爱发科七十余年专注真空科技，是全球半导体、电子器件真空设备的核心供应商。SH200 多离子计（Multi-Ion Gauge） 是爱发科新一代热阴极电离真空计，传承经典 B-A 型高真空测量原理，融合现代工业设计与智能控制技术，专为严苛高真空场景打造。而M-45（NW25） 作为其标准适配传感器头，以紧凑结构、标准接口、稳定性能，成为 SH200 系统的黄金搭档，树立高真空测量领域的品质标杆。

二、核心规格：M-45（NW25）传感器头精准参数

1. 基础型号与适配

  • 型号：M-45（NW25）

  • 接口标准：M-45（NW25）快装法兰，工业通用标准

  • 适配主机：ULVAC SH200 系列多离子计主机（SH200-E/SH200-A/SH200-R）

  • 测量原理：B-A 型（巴耶 - 阿尔珀特）热阴极电离真空计

  • 重量：约 80g，超轻量化设计

2. 核心测量性能

  • 测量范围：5×10⁻⁸ Pa ~ 1×10⁺¹ Pa（高真空至超高真空区间）

  • 测量精度：5×10⁻⁸ Pa ~ 10 Pa 范围内，±15%（N₂标准气体）

  • 重复性：±2%（SH200 独立模式），数据稳定性行业领先

  • 灯丝材质：高纯度铱（Ir）/ 铼（Re）合金，耐高温、抗污染、长寿命

  • 本体材质：SUS316L 不锈钢，真空密封性强、耐化学腐蚀、无气体释放

  • 耐压极限：2×10⁵ Pa（大气压），防冲击、防误操作损坏

  • 工作温度：10 ~ 50℃，适配工业洁净车间环境

三、产品优势：六大核心亮点，赋能高端真空工艺

1. B-A 型经典结构，超高真空精准测量

采用成熟稳定的 B-A 型电离规结构，相比传统三极管型，测量下限延伸至 5×10⁻⁸ Pa，精准覆盖半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键工艺所需的超高真空区间，测量灵敏度与分辨率远超同类产品。

2. NW16 标准接口，即插即用极速安装

卡扣式连接无需工具，30 秒完成安装 / 拆卸 / 更换，完美匹配半导体设备、真空炉、镀膜机主流真空腔体接口，兼容性强、维护效率高。

3. 抗污染长寿命灯丝，降低运维成本

采用铱 / 铼合金灯丝，相比传统钨丝，抗氧化、抗碳氢化合物污染能力提升 5 倍，在含油气、工艺残留气体环境中寿命显著延长。搭配 SH200 主机灯丝寿命智能预警功能，实时监测灯丝功率，提前预判损耗，避免突发故障导致生产中断。

4. 全金属密封结构，超高真空稳定性

传感器头内部采用全金属密封与焊接工艺，无橡胶、塑料等易挥发材质，极低出气率，保障超高真空环境洁净度。抗震结构设计，耐受设备振动、真空泵冲击，测量数据无漂移、无波动，24 小时连续运行稳定性卓越。

5. 宽量程扩展能力，一机覆盖全流程

与 SH200 主机、选配SWU10-R 皮拉尼传感器组合，实现5×10⁻⁸ Pa ~ 1×10⁺⁵ Pa（大气压）的全量程测量。一台设备覆盖真空系统抽气、保压、工艺运行、腔体回气全流程，大幅简化设备配置、降低成本。

6. 智能信号输出，适配工业自动化

配合 SH200 主机，支持DC 0~10V 模拟输出、RS485 串口通信、EtherCAT 总线（选配）等多种信号模式，直接对接 PLC、工控机、SCADA 系统，实现真空数据实时采集、远程监控、自动控制，满足智能制造与工业 4.0 需求。

四、核心应用场景：覆盖高端制造，适配严苛工况

头凭借超高精度、高稳定性、抗污染特性，成为以下领域的标配测量装置：

  • 半导体制造：晶圆刻蚀、PVD/CVD 镀膜、离子注入、扩散炉的高真空 / 超高真空工艺控制

  • 显示面板（OLED/LCD）：有机膜沉积、透明导电膜镀膜、面板退火设备真空监测

  • 光伏新能源：太阳能电池片 PECVD、LPCVD、真空蒸发镀膜的极限压力检测

  • 光学镀膜：镜片增透膜、滤光膜、光学薄膜沉积的高真空环境保障

  • 科研实验室：粒子加速器、超导设备、表面分析仪器的超高真空测量

  • 真空冶金：特种合金真空烧结、精密热处理的极限真空控制


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