ULVAC爱发科 气体分析仪 CGM2-052

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ULVAC爱发科 气体分析仪 CGM2-052

ULVAC爱发科 气体分析仪 CGM2-052

ULVAC爱发科 气体分析仪 CGM2-052ULVAC爱发科 气体分析仪 CGM2-052ULVAC新型残余气体分析仪/工艺气体监测器（RGA）在高压（小于1帕）下实现高精度和分辨率，且具有革命性的简便性和易用性。这是一种新的流程监测标准的出现，反映了各生产线设备和技术人员的声音。它非…

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Product Detail

ULVAC爱发科  气体分析仪  CGM2-052

ULVAC爱发科  气体分析仪  CGM2-052

ULVAC新型残余气体分析仪/工艺气体监测器（RGA）在高压（小于1帕）下实现高精度和分辨率，且具有革命性的简便性和易用性。
这是一种新的流程监测标准的出现，反映了各生产线设备和技术人员的声音。
它非常适合溅射设备的工艺控制（质量改进、良率提升）。

特色

  • 非常适合溅射工艺

  • 空气泄漏监测

  • 残留水分管理

  • 过程监控无需差速器排气系统：测量值低于1 Pa，节省空间

  • 具备高度灵敏度泄漏测试（CGM2-052）及完整泄漏测试能力

  • 可测量总压力

  • 集成显示部分设计：测量可在无计算机的情况下完成

  • 易用——一键功能：对所有人来说都很简单，无需复杂操作

  • Qulee QCS 软件作为标准配置

  • 符合CE标准

用途

  • 用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控及杂质（H2O）管理

  • 用于溅射设备的泄漏测试

规格

结局

M/△M=1M（10% P.H.）

模型CGM2-051CGM2-101CGM2-052CGM2-102
质量分离方法四极杆质谱仪
质量数范围1~50 amu1~100 amu1~50 amu1~100 amu
探测器法拉第杯次级电子倍增器 / 法拉第杯
灵敏度0.1uA/Pa0.1mA/Pa
最小检测分压1x10-7爸1x10-10爸
最大工作压力2PA2Pa（FC）1x10-2Pa（SEM）
线性1Pa
总压力测量函数是的
脱气函数是的 / 电子电击脱离系统，300V / 5mA
一键泄漏检测功能是的 / 他 / H2O / N2 / O2 / 任何气体
供电电压DC24V±10% 50W
最大烘焙温度
（传感器连接时）		120°C
最大烘烤温度
（传感器单元拆卸时）		250°C
工作温度范围10~40°C
界面以太网
软件兼容Qulee QCS Ver.4.2及更高版本（Windows 8/10/11）
贴合规格CE


高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科