ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-R1-EL

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ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-R1-EL

ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-R1-EL

ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-R1-ELULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-R1-ELCRTM-R1-EL是一款针对OLED沉积工艺和钙钛矿太阳能电池沉积工艺优化的石英晶体沉积监测仪。它采用了一种新的测量方法，以实现高分辨率和显著提升的速率稳定性。特色新的测量方法显著提升了速率稳定性…

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Product Detail

ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTM-R1-EL

ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTM-R1-EL

CRTM-R1-EL是一款针对OLED沉积工艺和钙钛矿太阳能电池沉积工艺优化的石英晶体沉积监测仪。
它采用了一种新的测量方法，以实现高分辨率和显著提升的速率稳定性。


特色

  • 新的测量方法显著提升了速率稳定性。

  • 能力（CI值）测量提升了晶体板检测异常的能力。

  • 它最多可同时控制8个元素。 （添加选项时）

  • 该通信方式支持以太网和RS-232C。

  • 主机上存储的各种日志数据可以以CSV格式传输到USB中。

  • 利用Calc-Z函数，即使在自动计算的同时，甚至可以沉积Z比未知的材料。

用途

  • OLED沉积和钙钛矿太阳能电池沉积工艺中的薄膜厚度、速率管理与控制。

规格

频率测量范围4.00~3.00MHz@4MHz
5.00~3.50MHz@5MHz
6.00~4.50MHz@6MHz
测量分辨率1 MHz
结局1 MHz
沉积率（速率）测量范围*10.000~999.9Å/s （0~99.99nm/s）
测量分辨率*20.0028Å/s @4MHz
0.0018Å/s @5MHz
0.0012Å/s @6MHz
显示分辨率*10.001Å/s
薄膜厚度测量范围*10.000~9999kÅ （0~999.9μm）
测量分辨率*20.0028Å @4MHz
0.0018Å @5MHz
0.0012Å @6MHz
显示分辨率*10.001kÅ
支持的传感器频率4MHz、5MHz、6MHz
可安装传感器数量（单一）2（最大8点，IF卡：2分/×4张牌）
可安装的传感器数量（多枚）2（最大8点，IF卡：2分/×4张牌）
采样率100毫秒
车库项目数量999
流程项目数量99
数字输入点14分（MAX56，DIO卡：4分×14分）
数字输出点8（MAX32，DIO卡：4×8分）
模拟输出点的数量2（MAX16，IF卡：2分/片×4张卡 + AO卡车：8分/片×1张卡）
模拟输出范围-10~+10V
沟通方法局域网（以太网）（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T）
RS-232C
USB2.0 Type-B
外部尺寸（宽度×深度×高度）CRTM-R1-EL：约480×约320×约130mm
CTM-EL（-D） 选项：约80×约152×约53毫米
质量 kgCRTM-R1-EL：5.3公斤（最大：含选装5.8公斤）
CTM-EL（-D） 选装：0.6公斤
公用事业交流 100~240V±10%，50/60Hz
最大功耗150W
兼容保险丝250V2.5A（2张5×20mm）
IP保护级别IP20
过电压类别第二类。
高度条件海拔2000米以下
污染水平2
使用环境温度：5~40°C
，湿度：相对湿度20~85%（无冷凝水），
仅限室内
存储环境温度 -10~60°C（无热水，无凝露） 湿度
20~85%相对湿度（无冷凝）
热身时间大约30分钟
贴合规格CE

*1：当工具=100和密度=1时的数值被设置。
*2：频率分辨率由工具=100和密度=1换算。


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