ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-6000G

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ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-6000G

ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-6000G

ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-6000GULVAC爱发科 沉积控制器 CRTM-6000GCRTM-6000G是一款晶体振荡沉积控制器，提供卓越的分辨率以及沉积薄膜厚度/速率的监测和控制。尽管其半机架尺寸紧凑，但它也能够低速率控制并连续沉积多层薄膜，最多可达99层。特色出色的胶片厚度和…

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ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTM-6000G

ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTM-6000G

CRTM-6000G是一款晶体振荡沉积控制器，提供卓越的分辨率以及沉积薄膜厚度/速率的监测和控制。
尽管其半机架尺寸紧凑，但它也能够低速率控制并连续沉积多层薄膜，最多可达99层。

特色

  • 出色的胶片厚度和沉积速率分辨率，有助于控制低沉积率

  • 125毫秒的快速采样率，有助于良好控制响应

  • 多达99层的多层控制

  • RS232C 作为标准

  • 最多可连接两个单一传感器（可切换）

  • 配备可编程数字输入输出（每台12个通道）和模拟输出（3个通道）


用途

  • 薄膜厚度和沉积速率的控制

规格

胶片厚度与测量分辨率0.041 A（5 MHz）
0.029 A（6 MHz）
厚度显示范围/显示分辨率0.000~99.99 μm（0.000~999.9 kÅ）
沉积速率显示范围/显示分辨率0.01~99.99 nm/s（0.1~999.9 Å/s）
支持的传感器频率5MHz，6MHz
可用传感器数量

单传感器：2个（无法同时测量，可切换）多
传感器：1个

采样率125毫秒
多层胶片计数99层
证词项目数量99
数字输入/输出输入：12
路可编程输出：12路可编程
模拟输出3声道可编程
尺寸 W×D×H240毫米 x 350毫米 x 99毫米


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