ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-M6 ULVAC

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ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-M6 ULVAC

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ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-M6 ULVACULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-M6 ULVACCRTS-M6 是一款为晶体振荡沉积控制器“Model：CRTM”开发的旋转多传感器。它可以配备六个5 MHz或6 MHz晶体，因此可以放心地用于连续沉积和其他用途特色可以包含6个5 MHz或6 MHz晶体采用真空电…

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ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTS-M6 ULVAC

ULVAC爱发科  沉积控制器 CRTS-M6 ULVAC

CRTS-M6 是一款为晶体振荡沉积控制器“Model：CRTM”开发的旋转多传感器。
它可以配备六个5 MHz或6 MHz晶体，因此可以放心地用于连续沉积和其他用途


特色

  • 可以包含6个5 MHz或6 MHz晶体

  • 采用真空电机实现高可靠性的独特驱动系统

  • 更换水晶很简单，因为它可以和支架一起安装和拆卸。

  • 检测异常晶体振荡（寿命），并可自动切换晶体（使用控制器“型号：CRTM”时）

  • 传感器头的尺寸较小（直径50毫米），使其能够灵活地安装在沉积系统上。

用途

  • 光通信元件的沉积

  • 有机质的沉积

  • 电子元件及其他元件的沉积

规格

传感器头
晶体数量6件
兼容晶体4MHz、5MHz 或 6MHz（可选）AT 切割晶体
耐热温度350摄氏度
冷却水体积1升/分钟
重量1公斤
尺寸Φ50mm x H，约89mm


控制器
数字输入INIT，CNT，停止
数字输出传感器编号，忙碌，错误，重试，结束
公用事业DC24V，3.0A
尺寸 W×D×H100毫米 x 252毫米 x 99毫米



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