ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-12NSULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-12NSCRTS-12NS 是一款为晶体振荡沉积控制器“Model:CRTM”开发的旋转多传感器。它可以配备12个5MHz晶体,因此可以放心地长时间连续沉积。特色可安装5MHz、12个AT切割晶体采用真空电机实现高可靠性的独特…
ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-12NS
ULVAC爱发科 沉积控制器 CRTS-12NS
CRTS-12NS 是一款为晶体振荡沉积控制器“Model:CRTM”开发的旋转多传感器。
它可以配备12个5MHz晶体,因此可以放心地长时间连续沉积。
可安装5MHz、12个AT切割晶体
采用真空电机实现高可靠性的独特驱动系统
更换水晶很简单,因为它可以和支架一起安装和拆卸。
检测晶体异常振荡(寿命),并在使用CRTM系列作为控制器时自动切换晶体。
光学与光通信组件
OLED
电子元件,其他
| 传感器头 | |
| 晶体数量 | 12张 |
| 兼容晶体 | 4MHz,5MHz AT切割晶体 |
| 耐热温度 | 350摄氏度 |
| 冷却水体积 | 1升/分钟 |
| 重量 | 2公斤 |
| 尺寸 | Φ104mm x H,约61mm |
| 控制器 | |
| 数字输入 | INIT,CNT,停止 |
| 数字输出 | 传感器编号,忙碌,错误,重试,结束 |
| 公用事业 | DC24V,3.0A |
| 尺寸 W×D×H | 100毫米 x 250毫米 x 99毫米 |
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