ULVAC爱发科 真空阀 VFR-400

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ULVAC爱发科 真空阀 VFR-400

ULVAC爱发科 真空阀 VFR-400

ULVAC爱发科 真空阀 VFR-400ULVAC爱发科 真空阀 VFR-400这是一种大型摆动阀（闸阀），采用ULVAC专有技术开发。它也可用于大型真空设备，如显示胶片沉积设备。特色ULVAC独特的机构采用了独特的密封机构和无机械锁定机构的反压抵消机构，导致颗粒产生的滑动部件极其微小。…

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Product Detail

ULVAC爱发科  真空阀 VFR-400

ULVAC爱发科  真空阀 VFR-400

这是一种大型摆动阀（闸阀），采用ULVAC专有技术开发。
它也可用于大型真空设备，如显示胶片沉积设备。

特色

  • ULVAC独特的机构

    采用了独特的密封机构和无机械锁定机构的反压抵消机构，导致颗粒产生的滑动部件极其微小。结构
    在开合操作和密封过程中几乎没有冲击（振动）。

  • 作为极佳的
    可维护装置，阀壳可安装和拆卸而无需将阀门从泵上取下。阀体单元可通过从壳体拆卸
    状态中拆除一颗螺栓来安装和拆卸。

  • 设计
    中的“型号：VFR”安装位置无论安装位置如何，均为360度自由

用途

  • 大型显示器制造设备

  • OLED制造设备

  • 真空设备的其他主阀和分流阀

规格

模型VFR-400VFR-500
标称口径Φ400毫米Φ500mm
连接法兰（相当于JIS B2290）VF400VF500
闭合规范2 位置
开合作用原理气动驱动
开合操作时间（2档规格）低于8分12岁以下组
气门板密封性能反压支撑
阀板可密封最大压差（正压时）0.12 MPa
阀板可密封最大压差（反向压力时）0.12 MPa
允许开合的最大压差（正压）0.5 kPa
反向压力时允许的最大开合差0.5 kPa
开导50000升/秒90000升/秒
工作压力范围1.0×10-5Pa~0.12MPa（abs）
烘焙耐受温度（静止状态）阀体低于120°C
圆柱体低于80°C
工作环境温度10~80°C
工作流体温度10~80°C
气缸供气压0.5~0.7MPaG
气动供弹口径Φ8管件
维护周期十万次
安装位置免费
主要部件材料阀体AC4CH-T6
阀板AC4CH-T6
密封件材料真空侧氟橡胶
油画与油画Z300 润滑脂
总质量98公斤155公斤
面之间的维度150毫米170毫米



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