ULVAC爱发科 直流电源 SG-10-4

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ULVAC爱发科 直流电源 SG-10-4

ULVAC爱发科 直流电源 SG-10-4

ULVAC爱发科 直流电源 SG-10-4ULVAC爱发科 直流电源 SG-10-4低频电源设计用于等离子体产生，如双阴极溅射、等离子体CVD等。它可以连续输出额定功率，频率范围从20 kHz到100 kHz，用于等离子体负载。这是一种高度可靠的电源，非常适合等离子体负载，体现了我们多年来在设…

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Product Detail

ULVAC爱发科  直流电源 SG-10-4

ULVAC爱发科  直流电源 SG-10-4

低频电源设计用于等离子体产生，如双阴极溅射、等离子体CVD等。
它可以连续输出额定功率，频率范围从20 kHz到100 kHz，用于等离子体负载。
这是一种高度可靠的电源，非常适合等离子体负载，体现了我们多年来在设计中培养的专业知识，包括电源应用

特色

    • 振荡频率可设定为20kHz至100kHz，输出为*1

    • 输出电压范围符合规格，无需改变抽头

    • 可实现脉冲输出控制

    • 外部模拟控制、控制器等为标准配置，且可通过OPTION控制RS232C、RS485和EtherCAT等多种控制

    • *1：根据频率设置条件，输出电压/电流有限制。

规格

模型SG-10-4
输入规范输入电压三相交流电380-440V
输入容量13.2 kVA或更低
输出规范最大功率额定10千瓦
额定电流32A
额定电压1000Vrms
振荡频率20k-100kHz
控制控制精度±100W
控制保修额定功率的10%到100%（电压30伏或以上，电流1.5安培或更高）
外部控制模拟/数字，串行通信（RS232C 或 RS485）（可选），EtherCAT（可选）
冷却方法水冷7升/分钟或更高
外部尺寸（W×D×H）无突出物483×500×177（毫米）
质量40公斤
贴合规格CE，SEMI F47，RoHS（欧洲）



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