ULVAC爱发科 直流电源 MFU-20KULVAC爱发科 直流电源 MFU-20KMFU作为直流电源的外置单元,是双极型单元,用于双阴极溅射。它不仅在金属薄膜中有效,也适用于反应膜沉积。 它提供稳定的溅射,且阳极不会消失。特色可能在10kHz~100kHz *1范围内最多可并联运行6台机组结合我…
ULVAC爱发科 直流电源 MFU-20K
ULVAC爱发科 直流电源 MFU-20K
MFU作为直流电源的外置单元,是双极型单元,用于双阴极溅射。
它不仅在金属薄膜中有效,也适用于反应膜沉积。 它提供稳定的溅射,且阳极不会消失。
可能在10kHz~100kHz *1范围内
最多可并联运行6台机组
结合我们的直流电源,可以轻松实现双阴极放电系统。
*1:振荡频率超过60 kHz限制输出功率、电压和电流。
| 模型 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 单相交流电100-240V |
| 输入容量 | 400VA或更低 | |
| 输入规范 | 振荡电压范围* | 0~-1000V |
| 最大输入电流* | 50A | |
| 最大输入功率* | 20千瓦 | |
| 输出规范 | 振荡频率* | 10k~100kHz(61kHz及以上需要输出限制) |
| 额定输出电压 | 1000伏(RMS) | |
| 额定输出电流 | 50A(RMS) | |
| 输出方法 | 对于双目标 | |
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | |
| 外部尺寸(W×D×H)无突出物 | 480×630×177(毫米) | |
| 质量 | 29公斤 | |
| 贴合规格 | CE,KC,SEMI F47,RoHS(欧洲) | |
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