ULVAC爱发科 直流电源 RMG-1303

产品目录

ULVAC爱发科 直流电源 RMG-1303

ULVAC爱发科 直流电源 RMG-1303

ULVAC爱发科 直流电源 RMG-1303ULVAC爱发科 直流电源 RMG-1303RMG-1303 是一款集成的 13.56MHz、300W 输出匹配射频电源，用于等离子体工艺，如射频溅射、等离子体 CVD、蚀刻等。匹配器和射频电源的集成减轻了体积和重量。它可以从低功耗控制，并可应用于从研发应用到大…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  直流电源 RMG-1303

ULVAC爱发科  直流电源 RMG-1303

RMG-1303 是一款集成的 13.56MHz、300W 输出匹配射频电源，用于等离子体工艺，如射频溅射、等离子体 CVD、蚀刻等。
匹配器和射频电源的集成减轻了体积和重量。
它可以从低功耗控制，并可应用于从研发应用到大规模生产设备的广泛领域。

特色

    • 可从1瓦的低功率控制

    • 标配500Hz~100kHz脉冲射频输出能力

    • 标准的外部同步终端

    • 宽范围的单相100V~220V / 50Hz~60Hz输入

    • 200毫米×200毫米×350毫米/10公斤小型轻量电源

    • CE、KC、半F47、半S2、RoHS

规格

模型RMG-1303
动力功能单元输入电压单相交流电100-220V
输入容量700VA或更低
振荡频率13.56MHz±0.01%
功率等级300W（50Ω负载时）
匹配函数部门功率等级300W
允许输出电流10Arms
允许输出电压2500Vpp/-2500Vdc（标准）*1
输出电极/选项2-M4（标准）/N，HN，DIN7/16*2
普通省冷却方法强制空气冷却
外部尺寸（W×D×H）无突出物200×350×200（毫米）
质量大约10公斤
贴合规格CE、KC、半F47、半S2、RoHS（欧洲）

*1 可选电压额定值可更改。
*2 可选地，你可以切换到连接器的输出类型。



高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科