ULVAC爱发科 直流电源 MBX-1305N

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ULVAC爱发科 直流电源 MBX-1305N

ULVAC爱发科 直流电源 MBX-1305N

ULVAC爱发科 直流电源 MBX-1305NULVAC爱发科 直流电源 MBX-1305N"型号：RFS-N“是一种用于等离子体工艺的射频电源，输出功率为13.56MHz，功率为0.5kW/1/kW/3kW/5kW。 它配备了高效射频放大器，以实现小尺寸和重量减轻。此外，射频电源内置自动匹配控制器功能，因此…

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ULVAC爱发科  直流电源 MBX-1305N

ULVAC爱发科  直流电源 MBX-1305N

"型号：RFS-N“是一种用于等离子体工艺的射频电源，输出功率为13.56MHz，功率为0.5kW/1/kW/3kW/5kW。 它配备了高效射频放大器，以实现小尺寸和重量减轻。
此外，射频电源内置自动匹配控制器功能，因此仅用射频电源单元即可控制射频电源和匹配系统的功率。

特色

  • 通过安装高功率转换效率的射频电路实现节能

  • 高速自动匹配与高速算法

  • 内置射频电源自动匹配功能

  • 可支持外部模拟控制，串行通信控制

  • 极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。

规格

射频功率模型RFS-1305NRFS-1310NRFS-1330NRFS-1350N
输入规范输入电压单相交流200V - 220V三相交流电200V - 220V
输入容量1.2 kVA或更低低于1.8 kVA低于5千伏安低于8千伏安
输出规范振荡频率13.56MHz
功率等级500W（50Ω负载）50Ω负载时1000W。3000W（50Ω负载）5000W（50Ω负载时）
同轴输出连接器N型HN型DIN 7/16
冷却方法强制空气冷却强制风冷+水冷
没有冷却水流量4升/分钟流量：6升/分钟
外部尺寸（W×D×H）无突出物240 x 495 x 150（毫米）480 × 500 × 150 （毫米）
质量约11公斤约23公斤
贴合规格CE、KC、半F47、半S2、RoHS



匹配盒模型MBX-1305NMBX-1310NMBX-1330NMBX-1350N
输入功率30~500W30~1000W30~3000W50~5000W
允许输出电流30臂80号武器120武器
允许输出电压2500Vpp5000Vpp10000Vpp
冷却方法强制空气冷却水冷（2升/分钟）
外部尺寸（W×D×H）无突出物375 × 250 × 120 （毫米）375 × 250 × 170 毫米450 × 500 × 248 （毫米）
质量约8公斤大约10公斤约21公斤
贴合规格CE、KC、半F47、半S2、RoHS



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