ULVAC爱发科 直流电源 MEX-N

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ULVAC爱发科 直流电源 MEX-N

ULVAC爱发科 直流电源 MEX-N

ULVAC爱发科 直流电源 MEX-NULVAC爱发科 直流电源 MEX-N这是一种用于匹配等离子体发电电源（如射频溅射、等离子体CVD）的盒体切换机。特色可以在多个匹配的盒子之间切换。当没有同时放电时，它可以用于降低设备成本，通过减少设备安装的电源数量。由于每个阴极共用一个…

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Product Detail

ULVAC爱发科  直流电源 MEX-N

ULVAC爱发科  直流电源 MEX-N

这是一种用于匹配等离子体发电电源（如射频溅射、等离子体CVD）的盒体切换机。

特色

  • 可以在多个匹配的盒子之间切换。

  • 当没有同时放电时，它可以用于降低设备成本，通过减少设备安装的电源数量。

  • 由于每个阴极共用一个匹配盒，因此可以选择不同阻抗的多种阴极。

规格

容量区匹配盒式交换机数量
2个单位3个单位4个单位5个单位6个单位7个单位8个机车组
500,1千瓦墨西哥-2N-1k墨西哥-3N-1k墨西哥-4N-1k墨西哥-5N-1k墨西哥-6N-1k墨西哥-7N-1k墨西哥-8N-1k
3千瓦墨西哥-2N-3k墨西哥-3N-3k墨西哥-4N-3k墨西哥-5N-3k墨西哥-6N-3k墨西哥-7N-3k墨西哥-8N-3k
5千瓦墨西哥-2N-5k墨西哥-3N-5k墨西哥-4N-5k----


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