ULVAC爱发科 直流电源 EXN4M-70W

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ULVAC爱发科 直流电源 EXN4M-70W

ULVAC爱发科 直流电源 EXN4M-70W

ULVAC爱发科 直流电源 EXN4M-70WULVAC爱发科 直流电源 EXN4M-70W"型号：EXN是一种目标切换器，可用于切换电源给多个直流溅射电极、射频溅射电极等，或将多个直流和射频电源的输出切换到单一电极。特色匹配盒的输出可以切换。由于无需为每个阴极安装匹配的盒子，这…

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Product Detail

ULVAC爱发科  直流电源 EXN4M-70W

ULVAC爱发科  直流电源 EXN4M-70W

"型号：EXN是一种目标切换器，可用于切换电源给多个直流溅射电极、射频溅射电极等，或将多个直流和射频电源的输出切换到单一电极。

特色

  • 匹配盒的输出可以切换。

  • 由于无需为每个阴极安装匹配的盒子，这大大降低了设备成本。

  • 切换方式有两种：手动和电动。 我们还准备了支持更高功率的水冷系统。

  • 它也可以用作直流电源和直流脉冲输出的开关机。

  • 由于只有一个匹配箱，超出匹配范围的载荷不能相互使用。

规格

规格风冷目标转换器规格
EXN2T-40AEXN3T-40AEXN4T-40AEXN2M-40AEXN3M-40AEXN4M-40A
开关触点数量2分3分4分2分3分4分
使用频率DC-13.56MHz
额定电流40A
切换方法手动式电动
冷却方法自然风冷
规格水冷目标调车器规格
EXN2T-70WEXN3T-70WEXN4T-70WEXN2M-70WEXN3M-70WEXN4M-70W
开关触点数量2分3分4分2分3分4分
使用频率DC-13.56MHz
额定电流70A
切换方法手动式电动
冷却方法水冷




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