ULVAC爱发科 直流电源 PHS-04N

产品目录

ULVAC爱发科 直流电源 PHS-04N

ULVAC爱发科 直流电源 PHS-04N

ULVAC爱发科 直流电源 PHS-04NULVAC爱发科 直流电源 PHS-04N该系统设计用于等离子体产生电源的相位调整，如射频溅射、等离子体CVD和蚀刻。系统可以任意改变每个电源的输出相位，用于多个以13.56MHz工作频率工作的射频电源。特色可以控制多个射频电源的相位。相位偏移特…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  直流电源 PHS-04N

ULVAC爱发科  直流电源 PHS-04N

该系统设计用于等离子体产生电源的相位调整，如射频溅射、等离子体CVD和蚀刻。
系统可以任意改变每个电源的输出相位，用于多个以13.56MHz工作频率工作的射频电源。

特色

  • 可以控制多个射频电源的相位。

  • 相位偏移特性可根据阴极间的差异进行调整，提供稳定且低变性的过程。

规格

模型PHS-04NPHS-08N
输入规范输入电压单相交流100V-240V
输入容量低于70VA
输出规范输出通道数量48
振荡频率13.56MHz±0.05%
相位设定范围0°~359.9°
外部尺寸（W×D×H）无突出物480×192×49（毫米）



高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科