ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGN-206M

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ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGN-206M

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGN-206M

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGN-206MULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGN-206M“EGN型号”是一种新开发的金属沉积电子束蒸发源，采用反射电子吸收机制，专注于提升可维护性。平顶结构减少了电子束蒸发源的面积，并实现了高维护。特色抑制反射电子入射到基底，减少基底…

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Product Detail

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGN-206M

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGN-206M

“EGN型号”是一种新开发的金属沉积电子束蒸发源，采用反射电子吸收机制，专注于提升可维护性。
平顶结构减少了电子束蒸发源的面积，并实现了高维护。

特色

  • 抑制反射电子入射到基底，减少基底温度上升

  • 平顶结构确保电子束蒸发源的沉积面积较小，便于清洁

  • 新的发射结构使零件数量减少到60%，使组装更为便捷。

  • 部分部件可以修改以选择带梁和点梁

  • 极高的可靠性是基于多年设备制造商积累的专业知识设计实现的。

规格

模型EGN-206MEGN-406M
电子束偏转角270°
坩埚数量6
坩埚容量20cc40cc
坩埚尺寸：顶部×底部×深度Φ42×Φ32×19（毫米）Φ50×Φ41×25（毫米）
冷却水体积哈斯超过10升/分钟
其他超过2升/分钟
外部尺寸（W×D×H）无突出物214×343×144（毫米）
质量最高可达28公斤
沉积速率1.6微米/分钟
（带状梁/铝/8千瓦/40cc坩埚/250H，直接位于哈斯上方）
最大加速电压-10kV
最大发射电流0.8A1.0A
适用电源HPS-1000N-100/HPS-1000N-200


高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

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S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
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MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

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变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

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