ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGO-1G

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ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGO-1G

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGO-1G

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGO-1GULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGO-1G基于ULVAC多年的技术积累,这款可靠的电子电子枪专为光学领域开发。特色电子束被电磁场偏转,因此次级电子对汽化沉积物的影响极小。甚至昇华材料也可以在X轴和Y轴扫描,以消除钻井现象并平稳蒸…

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Product Detail

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGO-1G

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGO-1G

基于ULVAC多年的技术积累,这款可靠的电子电子枪专为光学领域开发。

特色

  • 电子束被电磁场偏转,因此次级电子对汽化沉积物的影响极小。

  • 甚至昇华材料也可以在X轴和Y轴扫描,以消除钻井现象并平稳蒸发。 (日本专利831485,拥有编号843447)

  • 电子束被偏转270°,因此不会暴露在蒸发物质的蒸气中,丝状物寿命较长。

  • 发射极组件的安装和拆卸方便,方便更换耗材、绝缘体等。

规格

模型EGO-1GEGO-40M
束流偏转角270°
坩埚数量04
坩埚容量-10cc ×2 / 40cc ×2
坩埚尺寸:顶部×底部×深度-32Φ×24Φ×15H (毫米)/50Φ×41Φ×25H (毫米)
冷却水体积哈斯-超过10升/分钟
其他2升/分钟-
尺寸 W×D×H(无突出部分)166×285×174(毫米)170×309×174(毫米)
质量约12.5公斤约18公斤
最大加速电压-10kV
最大发射电流1.0A0.6A/1.0A
适用电源HPS-1000N-100/HPS-1000N-200




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