ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGK-3M

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ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGK-3M

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGK-3M

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGK-3MULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGK-3MEGK-3电子束蒸发源基于ULVAC多年技术积累和提升性能和可靠性的成果。该蒸发源的炉灶最大输入功率为5千瓦。坩埚容量为2.6毫升，适合实验性和小规模生产。特色采用2.6cc的Haas排量使其适合小规模…

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Product Detail

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGK-3M

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪  EGK-3M

EGK-3电子束蒸发源基于ULVAC多年技术积累和提升性能和可靠性的成果。
该蒸发源的炉灶最大输入功率为5千瓦。
坩埚容量为2.6毫升，适合实验性和小规模生产。

特色

  • 采用2.6cc的Haas排量使其适合小规模生产。

  • 由于电子束被电磁场偏转，次级电子对汽化材料的影响极小。

  • 即使是升华材料，也可以通过扫描X轴和Y轴的梁点消除部分钻孔现象，整个坩埚可以平稳蒸发。 （日本专利831485，拥有编号843447）

  • 电子束被偏转225°，因此不会暴露在蒸发物质的蒸气中，丝体寿命较长。

  • 发射极组件的安装和拆卸方便，方便更换耗材、绝缘体等。

规格

模型EGK-3EGK-3M
电子束偏转角225°
坩埚数量14
坩埚容量2.6cc2.9cc
坩埚尺寸：顶部×底部×深度21Φ×15.6Φ×10H（毫米）21Φ×17.5Φ×10H（毫米）
冷却水体积哈斯超过8升/分钟
其他超过1升/分钟
外部尺寸（W×D×H）无突出物110×207×126（毫米）140×207×126（毫米）
质量约4公斤大约5公斤
沉积速率0.5微米
/分钟或更大（正上方哈斯的阿尔/5千瓦/250小时）		0.6微米
/分钟或更高（正上方为Haas上方的Al/5kW/250H）
最大加速电压-10kV
最大发射电流0.5A
适用电源HPS-510S


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