ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGL-103S

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ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGL-103S

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGL-103S

ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGL-103SULVAC爱发科 真空沉积电子枪 EGL-103S电子束蒸发源“Model：EGL”基于ULVAC多年技术积累和提升性能和可靠性的成果。“EGL型号”拥有多种类型的枪，可用于任意多层薄膜沉积、高速厚膜沉积以及超高真空实验。特色电子束被电磁场偏转…

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Product Detail

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪 EGL-103S

ULVAC爱发科   真空沉积电子枪 EGL-103S

电子束蒸发源“Model：EGL”基于ULVAC多年技术积累和提升性能和可靠性的成果。
“EGL型号”拥有多种类型的枪，可用于任意多层薄膜沉积、高速厚膜沉积以及超高真空实验。

特色

  • 电子束被电磁场偏转，因此次级电子对汽化沉积物的影响极小。

  • 甚至昇华材料也可以在X轴和Y轴扫描，以消除钻井现象并平稳蒸发。 （日本专利831485，拥有编号843447）

  • 电子束被偏转270°，因此不会暴露在蒸发物质的蒸气中，丝状物寿命较长。

  • 发射极组件的安装和拆卸方便，方便更换耗材、绝缘体等。

规格

模型EGL-103SEGL-35EGL-35MEGL-110EGL-80M
电子束偏转角270°
坩埚数量31414
坩埚容量10cc40cc40cc ×2/10cc×2110cc
坩埚尺寸：顶部×底部×深度35Φ×31Φ×11H（毫米）50Φ×41Φ×25H（mm）50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm）75Φ×59Φ×32H（毫米）75Φ×57Φ×32H（毫米）
冷却水体积哈斯超过10升/分钟超过19升/分钟超过20升/分钟
其他超过2升/分钟-超过2升/分钟ー超过4升/分钟
外部尺寸（W×D×H）无突出物313×250×108（毫米）160×206×79（毫米）170×240×156（毫米）136×220×90（毫米）265×318×168（毫米）
质量约16公斤大约10公斤约18公斤约15公斤约30公斤
沉积速率-1.8微米
/分钟或更高（正上方
为Haas的Al/8kW/250H）		1.6微米/分钟
或更高（正上方
哈斯的Al/8kW/250H）		4.5微米
/分钟或更高（正好在哈斯上方
，Al/16kW/250H）		4微米
/分钟或更高（正上方
哈斯的阿尔/16千瓦/250小时）
最大加速电压-10kV
最大发射电流0.6A1.0A1.6A
适用电源HPS-1000N-100/HPS-1000N-200HPS-1600F-DS100/
HPS-1600F-DS200		HPS-1600F-DS101



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