ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 HPS-1000N-G100ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 HPS-1000N-G100基于ULVAC多年的技术积累和成就,该电源兼容电子束蒸发源,稳定电路并提升性能。与 EB 枪控制器 EGC-10GS 配合使用时,可用于光学薄膜的 EB 枪和金属薄膜的 EB 枪。特色不需要…
ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 HPS-1000N-G100
ULVAC爱发科 真空沉积电子枪 HPS-1000N-G100
基于ULVAC多年的技术积累和成就,该电源兼容电子束蒸发源,稳定电路并提升性能。
与 EB 枪控制器 EGC-10GS 配合使用时,可用于光学薄膜的 EB 枪和金属薄膜的 EB 枪。
不需要冷却水
,因为强制空气冷却系统不需要冷却水
将作为高可靠性
设备制造商积累的专业知识反馈到设计中
操作简
便 使用LCD触摸面板提升操作性
扫描波形变体如XY
扫描、波形编辑、按面积控制的定重控制、圆圈扫描、圆形编辑、螺旋等可以为各种波束创建扫描形态*。
高速电弧断电功能包括
高速电弧断电,用于配置电路以最小化沉积速率下降
| 模型 | HPS-510S | HPS-1000N-100 | HPS-1000N-200 | HPS-1000N-G100 | HPS-1000N-G200 | |
| 规格 | 1个酱料 | 1个酱料 | 2 资料来源 | 1个光源(用于光学) | 2个光源(用于光学) | |
| 输入规范 | 输入电压 | 三相交流190~231V | ||||
| 输入容量 | 7kVA | 14kVA | 15kVA | 14kVA | 15kVA | |
| 输出规范 | 功率等级 | 5千瓦 | 10千瓦 | |||
| 电压范围 | -4k~-10kV | |||||
| 涟漪率 | 2%p-p 或更低 | |||||
| 束流 | 0~0.5A | 0~1.0A | ||||
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | |||||
| 尺寸 (W×D×H)(电源本体) 不包括突出部分 | 480×620×300(毫米) | 494×701×712(毫米) | ||||
| 尺寸(W×D×H)(炮控器)无突出物 | ー | 480.5×499×143(毫米) | ||||
| 质量(电源本体) | 45公斤 | 120公斤 | 133公斤 | 120公斤 | 133公斤 | |
| 质量(枪械控制员) | - | 11.5公斤 | ||||
| 贴合规格 | - | CE | ||||
| 模型 | HPS-1600F-DS100 | HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |
| 规格 | 1个酱料 | 2 资料来源 | 1 个源头(H型) | |
| 输入规范 | 输入电压 | 三相交流190~231V | ||
| 输入容量 | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| 输出规范 | 功率等级 | 16千瓦 | ||
| 电压范围 | -4k~-10kV | |||
| 涟漪率 | 2%p-p 或更低 | |||
| 束流 | 0~1.6A | |||
| 冷却方法 | 强制空气冷却 | |||
| 尺寸 (W×D×H)(电源本体) 不包括突出部分 | 500×700×710(毫米) | |||
| 尺寸(W×D×H)(炮控器)无突出物 | 480.5×499×143(毫米) | |||
| 质量(电源本体) | 113公斤 | 120公斤 | 113公斤 | |
| 质量(枪械控制员) | 11.5公斤 | 12公斤 | ||
| 贴合规格 | - | - | - | |
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