ULVAC爱发科 真空运输机器人 ELEC-RZ

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ULVAC爱发科 真空运输机器人 ELEC-RZ

ULVAC爱发科 真空运输机器人 ELEC-RZ

ULVAC爱发科 真空运输机器人 ELEC-RZULVAC爱发科 真空运输机器人 ELEC-RZ真空转移机器人是设计用于在真空环境中高效且准确地完成输送任务的产品。 这些机器人是真空工艺质量和效率的关键组成部分，广泛应用于半导体制造设备、涂层设备和分析设备等多个领域。特别是…

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Product Detail

ULVAC爱发科   真空运输机器人  ELEC-RZ

ULVAC爱发科   真空运输机器人  ELEC-RZ

真空转移机器人是设计用于在真空环境中高效且准确地完成输送任务的产品。 这些机器人是真空工艺质量和效率的关键组成部分，广泛应用于半导体制造设备、涂层设备和分析设备等多个领域。

特别是半导体制造设备的真空输送机器人需要高度的密封度和调谐以最大限度减少摩擦，这与大气运输机器人不同。 在性能方面，以下要求很重要：

・高可靠性：即使长时间运行仍保持稳定运行。
- 防尘：设计用于防止颗粒粘附在晶圆表面。
• 高速：高速运行以提升吞吐量。
具备这些能力的真空输送机器人有助于提高制造工艺效率和高质量产品的交付。

真空输送机器人负责以下角色：

·输送晶圆和基板 无需
手动操作，实现高效工艺，同时保持真空环境。
·高精度定位 对
运输目的地进行精确定位。 这确保了后续工艺的准确性。
• 污染预防 在
真空环境中，颗粒和污染物的污染是一个重大问题。 真空运输机器人通过非接触式运输和清洁设计，最大限度地减少了这些问题。
·流程自动化与效率 实现支持
连续流程的自动输送。 这有助于缩短处理时间和人工成本。
·对高温和特殊环境的响应 在
真空环境中，温度和压力可能发生波动。 真空运输机器人设计用于在这些条件下持续可靠工作。
·提高生产力 利用
机器人可以提高整个工艺的吞吐量，并且能够灵活地处理高混合、低产量和大批量生产。

ELEC-RZ是一款高真空运输机器人，基于“模型：COVOT”的卓越功能和性能，实现了紧凑性和低成本。

特色

  • 磁性液体密封用于真空密封，适用于高达10-6Pa的真空环境。

  • 通过缩小执行器尺寸，使其体积紧凑且易于安装。

  • 根据划桨、转弯半径、手数等，有多种臂可供选择。

  • 它配备了多功能教学吊坠，操作简便。

规格

模型电利克-RZ
工作压力范围大气压 ~10-6Pa
晶圆尺寸200毫米/300毫米
持有的晶圆数量半张纸
最大伸展 *1050毫米
旋转角±210°
抬升行程50毫米
最小转向直径 *由964毫米安装臂
有效载荷（包括手）1公斤
工作速度望远镜最大2.5秒/全行程
旋涡最大3.0秒 / 180°
兴衰最大1.5秒 / 20毫米
重复位置精度望远镜±0.1毫米
旋涡±0.1毫米
兴衰±0.1毫米
教学吊坠收录
控制器分离
*这取决于安装的手臂和手。


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