ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F

产品目录

ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F

ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F

ULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260FULVAC爱发科 沉积设备 VPC-260F沉积装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。ULVAC的小型实验室沉积设备提供高精度沉积技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑设计使其能够在狭小空间中高效使用。气相沉积是一种将金属或氧化物等物…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  沉积设备  VPC-260F

ULVAC爱发科  沉积设备  VPC-260F

沉积装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。
ULVAC的小型实验室沉积设备提供高精度沉积技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑设计使其能够在狭小空间中高效使用。

气相沉积是一种将金属或氧化物等物质汽化并汽化的技术，并将其沉积在基底表面形成薄膜。

沉积过程首先在真空腔体内加热并蒸发目标材料，方法包括电阻加热、电子束加热或激光加热，然后蒸气通过真空进入基板，在那里以最小扩散方式抵达基板表面，因真空环境而扩散最小，在那里蒸凝形成具有均匀且高质量特性的薄膜。

这是一种小电阻加热和低成本真空沉积设备，紧凑地容纳了主泵、辅助泵、阀门管道、电气系统和压力测量端口等必要设备，安装在管道框架内。
它非常适合基础研发等小型底片尺寸的实验。

特色

  • 玻璃钟形罩让内部易于观察，操作也方便。

  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。

  • 添加蒸发电源和电极后，实现了同时且多层沉积。

  • 该沉积装置配备脚轮，易于移动。

规格

模型VPC-260F
真空性能达到压力1.3×10-3Pa
6.6×10-4PA（使用液氮时）
排气时间4.0×10-3Pa/20分钟
1.3×10-3Pa/20分钟（使用液氮时）
真空罐真空罐玻璃钟罩（内径Φ300mm×高度300mm）
Feed Sur Collar8个端口（8个边）
推荐及最大板块尺寸※1□50毫米/□140毫米（最大）
电源系统蒸发电极构型1点
蒸发电源与数量SEREM PSE-150C Type 1 类型
0~10V 150A（最大）
排气系统主泵油扩散泵（风冷）200升/秒
液氮陷阱是的
辅助泵油转真空泵 100L/min
油雾陷阱选项
运营部门主阀门拍板阀
辅助阀门三通阀
自动泄漏阀选项
运营手动
控制系统皮拉尼真空计选项
电离真空计选项
设置最大尺寸主体530毫米（宽）×550毫米（D）×1135毫米（高）
电源480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高）
质量体75公斤
电源40公斤

*1：最大板尺寸是指未考虑胶片厚度分布时的数值。



高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科