ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M

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ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M

ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M

ULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060MULVAC爱发科 沉积设备 VTR-060M沉积装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。ULVAC的小型实验室沉积设备提供高精度沉积技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑设计使其能够在狭小空间中高效使用。气相沉积是一种将金属或氧化物等物…

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Product Detail

ULVAC爱发科  沉积设备  VTR-060M

ULVAC爱发科  沉积设备  VTR-060M

沉积装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。
ULVAC的小型实验室沉积设备提供高精度沉积技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑设计使其能够在狭小空间中高效使用。

气相沉积是一种将金属或氧化物等物质汽化并汽化的技术，并将其沉积在基底表面形成薄膜。

沉积过程首先在真空腔体内加热并蒸发目标材料，方法包括电阻加热、电子束加热或激光加热，然后蒸气通过真空进入基板，在那里以最小扩散方式抵达基板表面，因真空环境而扩散最小，在那里蒸凝形成具有均匀且高质量特性的薄膜。
这是一种紧凑型电阻加热和低成本真空沉积设备，紧凑地集成了一个涡轮分子泵和一个辅助泵，安装在支架内。
它非常适合用于基础研究和开发等实验，使用清洁废气。

规格

模型VTR-060M/ERH
真空性能达到压力10-4立架（真空层无负荷清洗时）
1.5×10-3PA（可选规范）
排气时间4.0×10-3Pa/20分钟（清洁真空室时不负荷）
真空罐真空罐圆柱形玻璃腔体（Φ236mm×H250mm）
底板7个端口（底部）
棋盘尺寸与最大尺寸□25毫米，□50毫米（最大）
电源系统蒸发电极构型1点
蒸发电源与数量SEREM/PSE-150C，一组
0~10V 80A（最大功率）
排气系统主泵涡轮分子泵（风冷）60升/秒
辅助泵油转真空泵 20L/min
油雾陷阱OMT-050A
运营部门主阀门可选（蝶阀）
辅助阀门可选（三通阀）
自动泄漏阀可选（电磁阀）
真空室通风阀选项（泄漏口）
运营手动
控制系统真空计Option（ISG1）
薄膜厚度计可选（CRTM-6000G）
设置最大尺寸主体428毫米（宽）×438毫米（深）×713毫米（高）
电源480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高）
质量体50公斤
电源24公斤



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