EBARA荏原 真空泵 ESA15-DEBARA荏原 真空泵 ESA15-D型号ESA由Ebara先进的根式泵技术打造而成。型号ESA200W 及更大规格的机型特别适用于LCD、光伏制造设备等行业中对大型腔室快速抽真空的需求。型号ESA25-D和型号ESA70W 干式真空泵在MO-CVD应用领域拥有最大的安装基础泵…
EBARA荏原 真空泵 ESA15-D
EBARA荏原 真空泵 ESA15-D
型号ESA由Ebara先进的根式泵技术打造而成。型号ESA200W 及更大规格的机型特别适用于LCD、光伏制造设备等行业中对大型腔室快速抽真空的需求。型号ESA25-D和型号ESA70W 干式真空泵在MO-CVD应用领域拥有最大的安装基础泵。型号ESA干式真空泵还具备应对高气体负载的智能旋转序列以及先进的联锁功能。
特性
适用于大容量腔体快速抽气的理想设计智能转子RPM控制功能,实现灵活的气体流量调节·可选排气配置适用于有机溶剂应用·言级预警与报警数据存储能力
手动设置警告功能(可通过LCD控制器编程)·支持S2/CE认证/NRTL认证

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