OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪● 可随身携带至生产现场的手持式设计● 操作简便,新人也能轻松上手● 虽为手持设备却可实现高精度测量● 支持对三维样品进行无损检测特点● 可携带至现场的手持式● 可测量0.1μm单位● 具…
OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪
OTSUKA大塚电子 测量仪器 Smart膜厚仪
● 可随身携带至生产现场的手持式设计
● 操作简便,新人也能轻松上手
● 虽为手持设备却可实现高精度测量
● 支持对三维样品进行无损检测
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量范围(理论值)
膜厚测量范围 | 1μm~50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
规格
量测原理 | 反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测 |
膜厚量测范围 | 1~50μm(显示上限60μm) |
重复精度 | 2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm) |
量测时间 | 1秒内 |
量测层数 | 1层 |
数据输出 | 附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案 |
量测Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 约1.1kg |
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