OTSUKA大塚电子测量仪器 SF-3/1300

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OTSUKA大塚电子测量仪器 SF-3/1300OTSUKA大塚电子测量仪器 SF-3/1300即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色非接触式、非破坏性光学式膜厚检测采用分光干涉法实现高度检测再现性可进行高速特点● 非接触式…

OTSUKA大塚电子测量仪器 SF-3/1300

即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色非接触式、非破坏性光学式膜厚检测采用分光干涉法实现高度检测再现性可进行高速

特点

● 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
● 采用分光干涉法实现高度检测再现性
● 可进行高速的即时研磨检测
● 可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
● 可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
● 体积小、省空間、设备安装简易
● 可对应线上检测的外部信号触发需求
● 采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。(已取得专利)
● 可自动进行膜厚分布制图(选配项目)

规格

型号	SF-3/200	SF-3/300	SF-3/800	SF-3/1300
尺寸	123（W）x 224(D)x 128(H)mm
硅片测量厚度范围	6~400μm	10~775μm	20~1000μm	50~1300μm
树脂厚度范围	10~1000μm	20~1500μm	40~2000μm	100~2600μm
最小采样周期	5kHz(200μsec)
重复精度	0.01 %以下（*1）
测量光斑直径	φ20μm以上（*2）
测量距离	50 、80、120、150 、200mm
光源	半导体光源（镭射Class3B）
分析方法	FFT分析法
接口	LAN, I/O端口
电源	DC24V （AC电源需另外购入）
选配件	多种测试距离套筒、电源单元（AC用）、AL基准、测试光检出标的、光纤清洁器

高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

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S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
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MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
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地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置

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