OTSUKA大塚电子 测量仪器 MINUKOTSUKA大塚电子 测量仪器 MINUKMINUK可评价nm级的透明的异物・缺陷,一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息,可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦,可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。特点1.凭借宽视野( 700μm)…
OTSUKA大塚电子 测量仪器 MINUK
OTSUKA大塚电子 测量仪器 MINUK
MINUK可评价nm级的透明的异物・缺陷,一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息,可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦,可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。
特点
1.凭借宽视野( 700μm)与高分辨率 (488nm) ,在测量对象中搜寻异物中无需耗费精力。
以往,由于视野范围狭窄,在查找异物等目标位置时,不得不反复扫描被测对象的全域。MINUK
无需通过成像光学系统,可直接记录样品光,从根本上解决了透镜的像差问题,实现大深度、宽视野、无像差的成像效果。
2.可捕捉深度 1400μm 的全域信息,支持任意高度切片观测1次测量即可获取相当于数千张图像的信息量
以往,无论需要观测的位置在哪里,都需要持续拍摄数千张图像才能定位目标区域。
而 MINUK 可瞬时完成 700×700μm 平面范围、1400μm 深度方向的信息采集。设备以约 2μm 的轴向分辨率生成约 700 张切片图像,通过对这些数据进行数字重聚焦处理,即可对样品三维结构开展追加验证分析。
3.将透过率和折射率的三维分布可视化,将肉眼无法看到的纳米级表面形状数值化
以往传统设备难以完成对焦操作,无法实现数据量化分析。而MINUK可对人眼不可见的纳米级表面形貌进行定量测量,还能检测微小的折射率变化。
规格
分辨率 x , y | 6 9 1n m( 一次拍照)、4 8 8 n m( 合成) |
视野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
分辨率 z | 10nm(相位差) |
视野 z | ±700μm |
样品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm(安装通用样品架时) |
样品台 | 微动X Y样品台(自动) |
激光 | 波长 6 3 8 nm |
尺寸(长×宽×高)mm | 本体:5 0 5(W)×6 3 0(D)×4 3 9(H) ± 2 0 m m |
重量 | 41k g |
功耗 | 本体:2 9 0 VA |
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