OTSUKA大塚电子 测量仪器 RETS-100nx NewOTSUKA大塚电子 测量仪器 RETS-100nx New产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备 测量项目特点…
OTSUKA大塚电子 测量仪器 RETS-100nx New
OTSUKA大塚电子 测量仪器 RETS-100nx New
产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备 测量项目
特点
使用独有的光谱仪实现高精度测量
精度高的原因
● 使用独有的高性能多通道光谱仪(型号:MCPD)对光谱进行解析
● 可获取较多的透过率信息 实现高精度测量
(获得的透射率信息约为 500 波长,是其他公司产品的约50 倍)。
规格
测量项目(薄膜、光学材料) | 相位差(波长分散)、慢轴、RTH*1、3次元折射率*1等 |
测量项目(偏光片) | 吸收轴、偏光度、消光比、各种色度、各种透过率等 |
测量项目(液晶cell) | cell gap、预倾角*1 、扭曲角、配向角等 |
位相差测量范围 | 0~60,000nm |
相位差重复性 | 3σ≦0.08nm(水晶波长板 约600nm) |
cell gap 测量范围 | 0~600μm(Δn=0.1时) |
cell gap 重复性 | 3σ≦0.005μm(cell gap 约3μm、Δn=0.1时) |
轴检测重复性 | 3σ≦0.08°(水晶波长板 约600nm) |
测量波长范围 | 400~800nm(其他可选) |
检测器 | 多通道光谱仪 |
测量径 | φ2㎜(标准规格) |
光源 | 100W halogen lamp |
数据处理部 | 个人计算机、显示器 |
样品台尺寸:标准 | 100㎜×100㎜(固定样品台) |
option | ·超高相位差测量 |
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