OTSUKA大塚电子测量仪器 MCPD-9800

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OTSUKA大塚电子测量仪器 MCPD-9800OTSUKA大塚电子测量仪器 MCPD-9800本公司的MCPD series在线胶卷评价系统，由于光学式非接触非破坏的膜厚，浓度，颜色等的检查可能。可测定膜厚范围为65nm～92μm和薄膜到厚膜都对应。（折射率1.5时）测量原理为分光干涉方式，在实现…

OTSUKA大塚电子测量仪器 MCPD-9800

本公司的MCPD series在线胶卷评价系统，由于光学式非接触·非破坏的膜厚，浓度，颜色等的检查可能。可测定膜厚范围为65nm～92μm和薄膜到厚膜都对应。（折射率1.5时）测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。由于采用了独自算法，可以高速实时监控，所以作为在线胶片监控，我们提出了最适合的系统。

特点

● 最适合工艺过程中的薄膜高速测量

● 最短曝光时间1ms～※根据规格

● 支持远程测量

● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）

规格

型号	MCPD-9800
型号	2285C	3095C	3683C	311C	916C
测量波长范围（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1100	900～1600
膜厚范围※	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm	180nm～92μm
膜厚/反射/透过/相位差	〇
色测量	〇				x
扫描时间	5ms～20s				1ms～10s
光斑直径	φ1.2mm
光纤长度	1m～长度需相商

※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定

型号	MCPD-6800
型号	2285C	3095C	3683C	3610C
测量波长范围（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1000
膜厚范围※	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm
膜厚/反射/透过/相位差/色测量	〇
扫描时间	16ms～65s
光斑直径	φ1.2mm
光纤长度	１ｍ～　长度需相商

高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

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