OTSUKA大塚电子测量仪器 GS-300

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OTSUKA大塚电子测量仪器 GS-300OTSUKA大塚电子测量仪器 GS-300特点● Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成● 实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐● 支持半导体工艺的高吞吐量要求● 支持槽口对齐功能● 小尺寸规格● 高精度自动校准单元规格自动Mapping系统式样…

OTSUKA大塚电子测量仪器 GS-300

特点

● Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成

● 实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐

● 支持半导体工艺的高吞吐量要求

● 支持槽口对齐功能

● 小尺寸规格

● 高精度自动校准单元

规格

自动Mapping系统式样表
名称	自动Mapping系统		Load Port对应膜厚仪
型式	-	-	GS-300 series
样品台方式	X-Y样品台		R-θ样品台
光学系	测量探头 CCD相机		同轴显微测量头 IR相机
最大晶圆尺寸	150mm以下	300mm以下	仅Ф300mm
晶圆角度补正	有
Pattern对准	有
晶圆厚度范围	视分光干涉式晶圆厚度传感器的式样而定
设备尺寸（W×D×H)mm	本体:570x600x780 控制器:500x273x177 (PC、显示器尺寸除外)	本体:773x760x600 控制器:350x310x120 LED电源:90x160x80 (PC、显示器尺寸除外)	500x500x1680 内置PC （显示器、键盘尺寸除外）

高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、IMV艾目微
MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

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地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置

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