日本直供 MIYUKI美幸辉 MGCS-11 自动压力控制控制器

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日本直供 MIYUKI美幸辉 MGCS-11 自动压力控制控制器

日本直供 MIYUKI美幸辉 MGCS-11 自动压力控制控制器

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Product Detail

日本直供  MIYUKI美幸辉   MGCS-11   自动压力控制控制器

日本直供  MIYUKI美幸辉   MGCS-11   自动压力控制控制器

自动压力控制控制器MGCS

自动且快速地优化PID参数。
支持简单且用户友好的触摸屏操作，并可远程控制高端系统。 安静的阀门操作确保了控制的稳定。

日本直供 MIYUKI 美幸辉 MGCS‑11 自动压力控制控制器

MGCS‑11 是日本美幸辉（MIYUKI）高精度真空 / 压力闭环控制器，主打±0.1% 高精度、双传感器、7 组 PID 记忆、触摸屏 + RS‑232C+I/O 多控 ，适配半导体 / 镀膜 / 科研等高洁净、超低泄漏场景。

典型应用

  • 半导体 / 晶圆制程：真空腔体压力稳定、工艺气体精准配比。

  • 真空镀膜 / 光学：高真空环境精密控制，低污染要求。

  • 科研 / 高校实验室：压力闭环系统、真空设备自动化。

  • 光伏 / 新能源：薄膜沉积、真空热处理压力控制。

特色：

开机时自动返回归位模式。

  • 传感器（真空表）和7组存储功能（PB、PID）实现了宽范围压力控制。

  • 操作支持触摸面板、I/O和RS-232C串行通信。

  • 可连接不间断电源（UPS）。 （停电时阀门关闭）

  •  除了电流压力外，还提供简单的控制阀开启显示。

  • PIDAT通过7步AT参数快速优化。

  •  控制精度为设定压力的±0.1%。

  • 安装真空表电源直流±15V和DC24V。

  • 半尺寸19英寸的货架，便于收纳。

  • 关键优势

    • 超高精度：±0.1% 控制精度，满足半导体、OLED、镀膜等严苛工艺。

    • 双传感器 + 多记忆：2 路真空输入 + 7 组 PID 存储，一键切换多工况。

    • 全自动 PID：7 步自动整定，无需专业调试，开机即用。

    • 多控合一：触摸屏 + I/O+RS‑232C，本地 / 远程无缝切换。

    • 高洁净低泄漏：适配美幸辉 GAR/BAZ 阀，泄漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，无金属滑动件，低颗粒析出。

    • 停电安全：可接 UPS，停电自动关阀，保护腔体与工艺。

  • 规格：

控制器型号MGCS-11
压力控制范围0.1~105 爸
适用的控制阀酒吧 / GAR
显示与操作单色LCD4英寸触摸面板
输入输出输入/输出

输入：压力控制，开合，开启控制，STEP操作，断电信号比特选择1、2、4，真空计2选择

输出：压力控制，开启控制，报警，开启，关闭，断电检测，操作准备完成，步进模式，位选择：1,2,4，真空计选择2

模拟输入输出输入：压力/开口设置
输出：电流压力，当前开口
真空计（传感器）输入2 / 直流 0~10V
串行通信RS-232C
停电响应可连接不间断电源（UPS）。 （Dsub9P）
输入电源
（50Hz/60Hz）

电压：交流100V~230V（单相）

功耗：最高180W
尺寸（W×D×H）241毫米×344毫米×143.5毫米
质量4公斤
环境条件 温度0~55°C（室内安装）
周围环境条件：湿度低于85%
配件100V电源线（2米）
有线电视单独出售电机电缆（3m， 5m， 10m） 锁
止索（3m， 5m， 10m）
*只需GAR电缆。