日本直供 MIYUKI美幸辉 BAR 控制蝶阀

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日本直供 MIYUKI美幸辉 BAR 控制蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 BAR 控制蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 BAR 控制蝶阀 日本直供 MIYUKI美幸辉 BAR 控制蝶阀 日本直供 MIYUKI 美幸辉 BAR 系列 真空控制蝶阀BAR 系列是美幸辉（MIYUKI）真空压力控制专用电动蝶阀，主打低颗粒、高真空密封、微小开度稳定，与 MS‑VP/MG‑mini485/MGCS‑11 控…

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日本直供  MIYUKI美幸辉    BAR    控制蝶阀 

日本直供  MIYUKI美幸辉    BAR    控制蝶阀 

日本直供 MIYUKI 美幸辉 BAR 系列 真空控制蝶阀

BAR 系列是美幸辉（MIYUKI）真空压力控制专用电动蝶阀，主打低颗粒、高真空密封、微小开度稳定，与 MS‑VP/MG‑mini485/MGCS‑11 控制器完美适配，广泛用于半导体、镀膜、真空炉等高精度真空系统。

特色

01. 结构简单的蝴蝶阀。

兼容从02.25A到250A的广泛直径范围。

03. 无金属滑动部件，实现低颗粒含量。

04. 超低噪声下的开闭操作。

05. 在微小孔径处实现压力稳定。

06. 无反冲，带直驱，带电机。

口径25A ~ 250A
工作压力范围105 Pa ~ 10-5 爸
泄漏量：
内部密封（阀门）		1X10-9 Pa·M3/s 下文
外部
密封（轴）泄漏量		1X10-10 Pa·M3/s 下文
气体接触材料SUS304
阀门密封氟橡胶O型圈
轴密封氟橡胶O型圈
耐热温度主单元温度：150°C
马达：40°C
停电时阀门的工作停止（无固定力）

*BAR 还生产无阀门密封功能的漏笼类型，尺寸为 25A~400A。

* 我们也可以生产停电对策产品。

关键优势（真空控制首选）

  1. 微小开度超稳定：蝶板流线设计，1%～5% 小开度无漂移，精准控制真空度（如镀膜 ±0.1%）。

  2. 低颗粒洁净设计：无齿轮 / 无金属摩擦，半导体级低颗粒，适配刻蚀 / 沉积 / 溅射。

  3. 高真空密封可靠：氟橡胶 / 全氟醚密封，超高真空泄漏率，长期运行无泄漏。

  4. 电机直驱无反冲：直接连接电机，无背隙、响应快、定位准，±0.1% 开度重复精度。

  5. 超低噪音：运行噪音＜45dB，实验室 / 洁净室友好。

  6. 适配全系列控制器：

    • MS‑VP：上位机 PID，开度指定

    • MG‑mini485：内置 PID，自动控压

    • MGCS‑11：双真空计，高精度闭环

典型应用

  • 半导体：刻蚀、PECVD、溅射真空腔压力精密调节

  • 真空镀膜：光学膜、光伏膜沉积微小开度稳定控压

  • 工业真空炉：热处理、钎焊真空度闭环控制

  • 科研真空系统：实验室自动化真空控制

  • 锂电 / 新能源：真空干燥、注液低颗粒真空环境

日本直供保障

  • 原装正品：日本工厂制造，可提供原产地证明、出厂校准报告

  • 交期：常备库存

  • 技术支持：阀门‑控制器匹配、PID 调试、真空系统方案设计