日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀

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日本直供  MIYUKI美幸辉      GAR     控制门阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀

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Product Detail

日本直供  MIYUKI美幸辉      GAR     控制门阀

日本直供  MIYUKI美幸辉      GAR     控制门阀

本直供 MIYUKI 美幸辉 GAR 系列 真空控制闸阀(门阀)

GAR 系列是美幸辉(MIYUKI)大流量 / 高真空专用电动闸阀,主打大流导、低颗粒、断电自密封,与 MS‑VP/MG‑mini485/MGCS‑11 控制器配套,用于真空系统粗抽、大流量调节、高真空隔离

关键优势

  1. 超大流导:闸板升降式,全开流导是同口径蝶阀 2~3 倍,粗抽 / 大流量排气更快。

  2. 断电安全密封:停电自动闭合密封,防止真空泄漏,适合无人值守系统。

  3. 高真空隔离可靠:全金属密封面 + 氟橡胶复合密封,高真空隔离无泄漏。

  4. 低颗粒洁净设计:无金属滑动摩擦,半导体级低颗粒,适配刻蚀 / 沉积。

  5. 开度范围宽:0~100% 线性调节,小开度稳定、大流导可控。

  6. 长寿命免维护:电机直驱无齿轮,无磨损、寿命长。

特色

 具有优异排气特性的门阀。

 支持从80A到400A的多种直径范围。

 即使在停电期间,完全封闭密封也可实现。

 超低噪声下的开闭操作。

结构允许流量控制直到完全闭合。

得益于不锈钢磨料,低气体排放。

与 BAR 蝶阀选型区别(核心)

表格
项目GAR(闸阀)BAR(蝶阀)
结构闸板升降,流导大蝶板旋转,紧凑
流导极大(全开流量大)中等(适合精细调节)
小开度控制一般(10% 以下稳定性弱)优秀(1%~5% 无漂移)
断电密封自动闭合(安全)保持原位(需外部断电保护)
适用场景粗抽、大流量、高真空隔离精密压力调节(镀膜 / 刻蚀)
价格较高中等
口径80A ~ 400A
工作压力范围105 Pa ~ 10-6 爸
泄漏量:
内部密封(阀门)
1X10-10 Pa·M3/s 下文
外部
密封(轴)泄漏量
1X10-10 Pa·M3/s 下文
气体接触材料SUS304
阀门密封氟橡胶O型圈
轴密封氟橡胶O型圈
耐热温度主单元温度:150°C
马达:40°C
停电时阀门的工作*停止(刹车锁)

*GAR对安装位置有限制。 如需更多详情,请联系我们。

* 我们也可以生产停电对策产品。