日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀本直供 MIYUKI 美幸辉 GAR 系列 真空控制闸阀(门阀)GAR 系列是美幸辉(MIYUKI)大流量 / 高真空专用电动闸阀,主打大流导、低颗粒、断电自密封,与 MS‑VP/MG‑mini485/MGCS…
日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 GAR 控制门阀
超大流导:闸板升降式,全开流导是同口径蝶阀 2~3 倍,粗抽 / 大流量排气更快。
断电安全密封:停电自动闭合密封,防止真空泄漏,适合无人值守系统。
高真空隔离可靠:全金属密封面 + 氟橡胶复合密封,高真空隔离无泄漏。
低颗粒洁净设计:无金属滑动摩擦,半导体级低颗粒,适配刻蚀 / 沉积。
开度范围宽:0~100% 线性调节,小开度稳定、大流导可控。
长寿命免维护:电机直驱无齿轮,无磨损、寿命长。
特色
具有优异排气特性的门阀。
支持从80A到400A的多种直径范围。
即使在停电期间,完全封闭密封也可实现。
超低噪声下的开闭操作。
结构允许流量控制直到完全闭合。
得益于不锈钢磨料,低气体排放。
| 项目 | GAR(闸阀) | BAR(蝶阀) |
|---|---|---|
| 结构 | 闸板升降,流导大 | 蝶板旋转,紧凑 |
| 流导 | 极大(全开流量大) | 中等(适合精细调节) |
| 小开度控制 | 一般(10% 以下稳定性弱) | 优秀(1%~5% 无漂移) |
| 断电密封 | 自动闭合(安全) | 保持原位(需外部断电保护) |
| 适用场景 | 粗抽、大流量、高真空隔离 | 精密压力调节(镀膜 / 刻蚀) |
| 价格 | 较高 | 中等 |
| 口径 | 80A ~ 400A |
|---|---|
| 工作压力范围 | 105 Pa ~ 10-6 爸 |
| 泄漏量: 内部密封(阀门) | 1X10-10 Pa·M3/s 下文 |
| 外部 密封(轴)泄漏量 | 1X10-10 Pa·M3/s 下文 |
| 气体接触材料 | SUS304 |
| 阀门密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 耐热温度 | 主单元温度:150°C |
| 马达:40°C | |
| 停电时阀门的工作* | 停止(刹车锁) |
*GAR对安装位置有限制。 如需更多详情,请联系我们。
* 我们也可以生产停电对策产品。