日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J25 气动真空蝶阀

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日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J25 气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J25 气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J25 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J25 气动真空蝶阀MIYUKI 美幸辉 B‑J25（BAR‑J25）B‑J25是美幸辉（MIYUKI）BAR 系列 25A 口径 电动真空蝶阀，用于真空系统精密压力调节、小流量控制、高真空隔离，日本原装、洁净室组装。…

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日本直供   MIYUKI美幸辉   B-J25   气动真空蝶阀

日本直供   MIYUKI美幸辉   B-J25   气动真空蝶阀

MIYUKI 美幸辉 B‑J25（BAR‑J25）

B‑J25是美幸辉（MIYUKI）BAR 系列 25A 口径 电动真空蝶阀，用于真空系统精密压力调节、小流量控制、高真空隔离，日本原装、洁净室组装。

关键特点（BAR 蝶阀核心优势）

  1. 微开极稳：1%～5% 开度无漂移，真空镀膜 / 刻蚀精细控压首选。

  2. 超薄结构：面间极薄，流导 / 体积比最优，节省安装空间。

  3. 高洁净低颗粒：无金属滑动摩擦，半导体 / 制药级洁净度。

  4. 全关高密封：阀板完全贴合密封，高真空保压可靠。

  5. 断电保持：带刹车电机，停电保持原位，防止误动作。

  6. 安装自由：无方向 / 姿势限制，任意角度安装。

典型应用

  • 半导体：PECVD、溅射、刻蚀 工艺腔精密压力控制

  • 真空镀膜：光学膜、金属膜 小流量稳定排气

  • 科研真空：小型腔体、管路 高真空隔离与微调

  • 工业真空：真空炉、脱气设备 精细调压 / 保压

采用简单的齿条与小齿轮驱动， 非常可靠。 相对于口径的电导性能为 这是有史以来最大的真空阀。

特色

 虽然气缸体积紧凑，但打开时推力翻倍（可靠运行），且 它在前弦处实现空气缓冲（减震效果）。

 阀体完全关闭时，阀体完全密封。

 安装姿势和方向无限制。

平面间比极薄，导电性极佳。

组装和检查在无尘室进行。


法兰式JIS・ISO・KF（NW）・CF
口径25A ~ 400A
泄漏量1×10-9 Pa·M3/s 下文
应用领域105~10-5 爸
气体接触材料SUS304
磁盘封印氟橡胶O型圈
轴密封氟橡胶O型圈
工作气压0.4~0.6 MPaG
开合指示器配备微动开关（用于开关，用于各位置检测）

*也可以制造特殊规格。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。