日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J65 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J65 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI 美幸辉 B‑J65(气动真空蝶阀)B‑J65(BH‑J65)是美幸辉(MIYUKI)BH 系列 65A 口径 气动真空蝶阀,主打大流量高流导、高真空隔离、洁净低颗粒、快速开…
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J65 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J65 气动真空蝶阀
超薄高流导:面间极薄,流导超大,适配大流量粗抽 / 主抽管路。
大口径快响应:65A 通径,开关迅速,适合大腔体快速排气 / 隔离。
洁净低颗粒:无金属滑动摩擦,半导体 / 镀膜级洁净度。
气垫缓冲:行程末端气垫减震,静音防冲击、长寿命。
安装自由:无方向 / 姿势限制,任意角度安装,适配紧凑空间。
断气安全:可选弹簧复位(常闭 / 常开),断气自动安全位。
半导体:PVD、CVD、刻蚀机大流量排气 / 隔离阀
真空镀膜:光学 / 金属膜粗抽阀、制程主隔离阀
工业真空:真空炉、烧结炉、脱气设备主路开关阀
科研真空:大型腔体、真空管路高真空隔离与通断