日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J150 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J150 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI 美幸辉 B‑J150(气动真空蝶阀)B‑J150(BH‑J150)为美幸辉(MIYUKI)BH 系列 150A/DN150 大口径气动真空蝶阀,主打超高流导、洁净低放气、两段排气、…
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J150 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J150 气动真空蝶阀
口径:150A(DN150),JIS 法兰;可选 KF150/ISO/CF
压力范围:10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa(高真空~大气压)
驱动:气动执行器(齿轮齿条),0.4~0.6 MPa 压缩空气
开度模式:0°(全闭)→45°(中开 / 慢排)→90°(全开 / 快排);两段开度标准配置
阀体材质:SUS304 不锈钢(低颗粒、低放气、耐腐蚀)
密封:标准 FKM 氟橡胶;可选 Kalrez 全氟醚(耐高温 / 耐腐蚀)
泄漏率:
阀内:≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
轴封:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
温度:阀体 ≤150℃;执行器 ≤60℃
重量:约 32kg
开关时间:≤ 4 秒(全开 / 全闭)
附件:标配微动开关(位置反馈)、开 / 关状态指示
超薄超大流导:阀体极薄、通径大,流导极高、排气阻力最小,适配超大腔体 / 主抽管路。
两段排气一阀多用:45° 慢速预排气 + 90° 高速主排气,单阀双模式,节省阀门与空间。
高洁净低颗粒:无金属滑动摩擦,半导体 / 镀膜级洁净度,适配高洁净制程。
气垫缓冲长寿命:行程末端气垫减震,静音防冲击,启闭寿命达100 万次 +。
安装自由:无方向 / 姿势限制,任意角度安装,适配紧凑空间与复杂管路。
断气安全设计:可选弹簧复位(常闭 / 常开),断气自动切安全位,保护系统与腔体。
半导体:大型 PVD/CVD、扩散炉、刻蚀机大流量排气 / 主隔离阀
真空镀膜:大型光学 / 金属膜生产线粗抽阀、制程主路开关阀
工业真空:大型真空炉、烧结炉、脱气设备、浸渍槽主路通断阀
科研真空:超大真空腔体、真空管道、测试系统高真空隔离与排气控制
B‑J150(BH 气动):大流量、快开关、性价比高 → 适合开关 / 大流量排气
BAR‑J150(电动):精密调节、微开稳定、带刹车 → 适合压力微调 / 稳压
原装正品,日本工厂 + 洁净室组装,品质可控
配套气动回路设计、电磁阀选型、真空系统计算技术支持