日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J350 气动真空蝶阀日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J350 气动真空蝶阀气动蝶阀B系列采用简单的齿条与小齿轮驱动, 非常可靠。 相对于口径的电导性能为 这是有史以来最大的真空阀。法兰式JIS・ISO・KF(NW)・CF口径25A ~ 400A泄漏量110-9 P…
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J350 气动真空蝶阀
日本直供 MIYUKI美幸辉 B-J350 气动真空蝶阀
气动蝶阀B系列采用简单的齿条与小齿轮驱动, 非常可靠。 相对于口径的电导性能为 这是有史以来最大的真空阀。
| 法兰式 | JIS・ISO・KF(NW)・CF |
|---|---|
| 口径 | 25A ~ 400A |
| 泄漏量 | 1×10-9 Pa·M3/s 下文 |
| 应用领域 | 105~10-5 爸 |
| 气体接触材料 | SUS304 |
| 磁盘封印 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 工作气压 | 0.4~0.6 MPaG |
| 开合指示器 | 配备微动开关(用于开关,用于各位置检测) |
*也可以制造特殊规格。
*本规范可能因改进目的而无通知地更改。
半导体:超大 PVD/CVD、扩散炉、刻蚀机大流量排气 / 主隔离阀
真空镀膜:大型光学 / 金属膜生产线粗抽阀、制程主路开关阀
工业真空:大型真空炉、烧结炉、脱气设备、浸渍槽主路通断阀
科研真空:超大真空腔体、真空管道、测试系统高真空隔离与排气控制