日本直供 MIYUKI美幸辉 B-N100 气动真空蝶阀

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日本直供 MIYUKI美幸辉 B-N100 气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 B-N100 气动真空蝶阀

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 日本直供   MIYUKI美幸辉   B-N100   气动真空蝶阀

 日本直供   MIYUKI美幸辉   B-N100   气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI 美幸辉 B‑N100（BH‑N100）气动真空蝶阀  B‑N100（BH‑N100）是美幸辉 BH 系列标准口径 100A/DN100 气动真空蝶阀，日本原装、洁净室组装，高真空 / 高洁净通用，超薄阀体、高导电、两段排气，适配半导体、镀膜、工业真空大口径管路

核心参数（100A 标准规格）

  • 口径：100A（DN100），JIS/ISO‑F/KF (NW)/CF 法兰通用

  • 压力范围：10⁻⁵ Pa ～ 10⁵ Pa（高真空～大气压）

  • 驱动：齿轮齿条气动执行器，0.4～0.6 MPa 压缩空气

  • 开度模式：0°（全闭）→45°（慢排）→90°（全开）；两段开度标配，可加0–90° 任意定位

  • 阀体材质：SUS304 不锈钢（低放气、耐蚀、高洁净）

  • 密封：标准FKM 氟橡胶 O 形圈；超高真空可选Kalrez 全氟醚

  • 泄漏率：

    • 阀内：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s

    • 轴封：≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

  • 温度：阀体 ≤150℃；执行器 ≤60℃

  • 重量：约 18kg（超薄紧凑型）

  • 开关时间：6～8 秒（全开 / 全闭，快速响应）

  • 附件：微动开关（位置反馈）、机械指示、断气弹簧复位（常闭 / 常开可选）

关键特点（BH‑N100 核心优势）

  1. 超薄高导电：阀体极薄、导电性能优异，防静电、防积尘，适配高洁净 / 防静电制程。

  2. 两段排气安全高效：45° 慢排防冲尘 + 90° 快排提效率，单阀替代多阀，节省空间与成本。

  3. 小体积大推力：小型气缸、开启推力加倍，行程末端气垫缓冲，启闭平稳、静音防冲击，寿命 **≥100 万次 **。

  4. 高洁净低放气：全洁净室组装 / 测试，无金属滑动摩擦，低颗粒、低放气，适配半导体 / OLED / 光伏。

  5. 任意安装：无方向限制，可水平 / 垂直 / 倾斜安装，适配紧凑管路布局。

  6. 断气安全保护：标配弹簧复位，断气自动全闭 / 全开，保护腔体与真空系统安全

典型应用

  • 半导体：超大腔体、负载锁、传输腔、泵组隔离 / 粗抽阀

  • 真空镀膜：大型镀膜机、卷绕镀膜、光学镀膜主路 / 旁路开关阀

  • 工业真空：真空炉、烧结炉、脱气舱、冻干机真空管路通断

  • 科研真空：实验室大型真空系统、分析设备、质谱仪高真空隔离