日本直供 MIYUKI美幸辉 B-C160 气动真空蝶阀

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日本直供 MIYUKI美幸辉 B-C160 气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI美幸辉 B-C160 气动真空蝶阀

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 日本直供   MIYUKI美幸辉   B-C160   气动真空蝶阀

 日本直供   MIYUKI美幸辉   B-C160   气动真空蝶阀

日本直供 MIYUKI 美幸辉 B‑C160（BH‑C160）气动真空蝶阀  B‑C160（BH‑C160）是美幸辉 BH 系列洁净型 160A/DN160 气动真空蝶阀，日本原装、洁净室组装，高真空 / 半导体级高洁净专用，超薄高导电阀体、两段排气，适配大口径高洁净真空管路

典型应用

  • 半导体：工艺腔、负载锁、传输腔、泵组隔离 / 粗抽阀

  • 真空镀膜：大型镀膜机、光学镀膜、卷绕镀膜主路 / 旁路开关阀

  • 工业真空：真空炉、烧结炉、脱气舱、冻干机真空管路通断

  • 科研真空：实验室真空系统、分析设备、质谱仪高真空隔离

关键特点（BH‑C160 洁净型优势）

超薄高导电：阀体极薄、导电性能优异，防静电、防积尘，适配高洁净 / 防静电制程

两段排气安全高效：45° 慢排防冲尘 + 90° 快排提效率，单阀替代多阀，节省空间与成本

小体积大推力：小型气缸、开启推力加倍，行程末端气垫缓冲，启闭平稳、静音防冲击，寿命 ≥100 万次 

高洁净低放气：全洁净室组装 / 测试，无金属滑动摩擦，低颗粒、低放气，适配半导体 / OLED / 光伏

任意安装：无方向限制，可水平 / 垂直 / 倾斜安装，适配紧凑管路布局

断气安全保护：标配弹簧复位，断气自动全闭 / 全开，保护腔体与真空系统安全


法兰式JIS・ISO・KF（NW）・CF
口径25A ~ 400A
泄漏量1×10-9 Pa·M3/s 下文
应用领域105~10-5 爸
气体接触材料SUS304
磁盘封印氟橡胶O型圈
轴密封氟橡胶O型圈
工作气压0.4~0.6 MPaG
开合指示器配备微动开关（用于开关，用于各位置检测）

*也可以制造特殊规格。

*本规范可能因改进目的而无通知地更改。